[实用新型]涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构有效
| 申请号： | 200820218407.1 | 申请日： | 2008-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN201281803Y | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王阳 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/30;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涂胶 显影 单元 工作 交叉 作业 结构 | ||
【权利要求书】：
1、一种涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，其特征是：涂胶单元或显影单元的基座一侧安装支承板，两个电缸I、电缸II上下平行安装在支承板外侧，涂胶单元或显影单元的两个工作臂分别固定在基座支承板外侧的上下两个电缸I、电缸II上。
2、按照权利要求1所述的涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，其特征在于：各工作臂的一端固定有气动滑台，各工作臂与电缸通过连接板连接，连接板的一端固定在气动滑台上，连接板的另一端固定在电缸的滑块上。
3、按照权利要求1所述的涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，其特征在于：基座的底部配有排液、排气装置以及单元的离心机构。
4、按照权利要求1所述的涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，其特征在于：工作臂的上下驱动机构气动滑台上设有限位传感器。
5、按照权利要求1所述的涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，其特征在于：工作臂的水平移动机构电缸I、电缸II内设置限位传感器。
6、按照权利要求1所述的涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，其特征在于：电缸I、电缸II为电动执行器。
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