[实用新型]一种化学气相沉积炉尾气排放电磁阀自清洗装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种电磁阀自清洗装置，特别是涉及一种化学气相沉积尾气排放电磁阀自清洗装置。

背景技术

电磁阀是利用当电能流经线圈产生电磁吸引力通过克服弹簧或自身重力将阀芯吸引，从而实现阀中通道的切断或联通，常用于切断油、水、气等物质的流通，配合压力、温度传感器等电气设备实现自动控制。电磁阀大体可以分为直动式电磁阀、分布直动式电磁阀和先导式电磁阀。由于电磁阀的原理简单容易制造而且使用方便，电磁阀已经广泛地应用在生产的各个领域。当电磁阀应用于化学气相沉积的设备中时，它的作用是当通过电流时，使线圈产生电磁力，克服弹簧的弹力使阀芯开启，从而使气体流通，当电流关闭时，弹簧的弹力使阀芯关闭，阻隔气体流通。一般电磁阀对介质的清洁度要求较高，而在化学气相沉积过程中会产生很多杂质，例如在某些实验过程中的SiCl₄，硅烷及其分解产生的HCl等，这些杂质会吸附或沉积于阀体的内表面或弹簧上，使电磁阀内覆有污染物，从而影响电磁阀的正常工作。电磁阀每工作50个小时就应该进行清洗，所以应该通过一种有效、方便的手段定期对电磁阀进行清洗。

现阶段对电磁阀的清洗主要是手工开拆电磁阀，然后用软布或棉花等擦拭电磁阀的内表面及弹簧表面，这样处理显然耗费时间和体力劳动，而且清洗不够及时彻底。

发明内容

本发明是设计一种电磁阀的自清洗装置，该方法可以克服现有电磁阀靠人工拆卸清洗的弊端，提高工作效率。其特征是在电磁阀的阀体上表面、下表面各开1个孔，外接真空阀门。在出气管道端加装高真空蝶阀。当电磁阀不工作时，通过上表面真空阀向电磁阀体内放入碱性清洗液，将污染物中和、清洗后从下阀门口排出，从而便于对阀门内进行清洗，使电磁阀内保持清洁，保证电磁阀的正常工作。

附图说明

图1是电磁阀自清洗装置的示意图。

图中显示了需要改进的电磁阀的阀体部分，其中各部分的名称分别为：

1：进液阀

2：阀体

3：出液阀

4：截止阀

本发明为一种化学气相沉积用电磁阀自清洗装置，它可以在无需打开电磁阀的情况下对阀体进行间歇性清洗，工作过程是：

(1)在电磁阀断电不工作情况下，关闭截止阀；

(2)打开进液阀，将碱性清洗液放入阀体；

(3)待清洗液在阀体内一定时间后，打开出液阀放出液体；

(4)放入清水继续清洗阀体，然后从出液阀放掉；

(5)清洗完毕打开截止阀；

(6)抽真空检验。

本发明的优点在于：(1)由于电磁阀一次使用时间长，且每使用约50个小时就需要进行清洗，电磁阀自清洗装置可以方便的对阀体内部进行清洗，操作简单；(2)清洗液可采用弱碱液(如碱性的NaOH溶液)对阀体内的酸性物质进行中和，使阀体免受腐蚀；(3)清洗时无需考虑拆开电磁阀，清洗过程快捷容易；(4)清洗装置密封性良好，不会破坏电磁阀原有的气密性要求；(5)针对通过电磁阀的气体及杂质的不同种类，可具体采用不同成分及浓度的清洗液，以达到有效清洗的目的。

具体实施方案

化学气相沉积氮化硅采用硅烷和氨气为反应气体，沉积较长时间后，电磁阀体中集聚了大量硅烷残余物，阻挡了电磁阀的正常工作。断电后，关闭截止阀门4和高真空阀门3，通过高真空阀门1冲入氢氧化钠溶液，保持一定时间后，打开高真空阀门3，将阀体中液体排放。反复几次，将阀体中的硅烷清洗干净后，再放入清水继续清洗阀体，然后从出液阀放掉。清洗完毕打开截止阀，抽真空检验。