[实用新型]一种化学气相沉积炉尾气排放电磁阀自清洗装置有效
| 申请号： | 200820214492.4 | 申请日： | 2008-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN201351174Y | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 陈照峰;王世明;万水成;王亮兵;方聃;承涵;吴王平;刘勇 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;F16K31/06;F16K27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 尾气 排放 电磁阀 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学气相沉积炉尾气排放电磁阀自清洗装置，其特征在于电磁阀的阀体上表面、下表面各开1个孔，外接真空阀门，在出气管道端加装高真空蝶阀。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
