[实用新型]一种带有窗口片保护气路的反应腔

权利要求书

1、一种带有窗口片保护气路的反应腔，包括一安装基座、透明窗口片，所述安装基座上开设有倒锥形凹槽，所述倒锥形凹槽在安装基座下表面形成一反应源气环形集中喷覆口，所述窗口片固定于所述安装基座上表面用以封闭所述倒锥形凹槽，其特征在于：所述安装基座上还开设有窗口片保护气进气口和与所述窗口片保护气进气口贯通的窗口片保护气抽气口。

2、如权利要求1所述的一种气浮式反应腔，其特征在于：所述安装基座上表面还固设有用于封闭所述倒锥形凹槽的透明的窗口片。

3、如权利要求2所述的一种气浮式反应腔，其特征在于：所述窗口片下面设有一窗口片垫圈。

4、如权利要求1或2所述的一种气浮式反应腔，其特征在于：所述安装基座上表面覆盖有一层加热片。

5、如权利要求1所述的一种气浮式反应腔，其特征在于：所述倒锥形凹槽中设有呈锥形排列的若干反应气体喷覆分配环。

6、如权利要求1所述的一种气浮式反应腔，其特征在于：所述安装基座上还开设有与所述反应源气环形集中喷覆口贯通的反应源气进气口。

7、如权利要求1所述的一种气浮式反应腔，其特征在于：所述安装基座上还开设有反应废气抽气口，所述安装基座下表面对应开设有与所述反应废气抽气口贯通的反应废气收集口。

8、如权利要求1所述的一种带有窗口片保护气路的反应腔，其特征在于：所述安装基座上还开设有预压真空抽气口，所述安装基座下表面对应开设有与所述预压真空抽气口贯通的预压真空节流口。

9、如权利要求1所述的一种带有窗口片保护气路的反应腔，其特征在于：所述安装基座上还开设有静压空气轴承进气口，所述安装基座下表面对应开设有与所述静压空气轴承进气口贯通的静压空气轴承节流喷嘴。