[实用新型]高阻尼吸振平台结构

说明书

技术领域

本实用新型关于一种用以承载设备的平台结构，特别是一种高阻尼吸振平台结构。

背景技术

在制造工艺逐渐迈向纳米等级分辨率的今日，无论在电子或半导体产业，多数制程及检测设备对于环境微振动相当敏感，在抑制环境振动的要求上将更为严苛。由于在不良的微振动环境下，常会造成仪器的误动作或者测量的结果难以判读，所以这些制程及检测设备的承载平台必须要具备优良的动态特性，使得无论是由环境传来的振动或者是平台设备本身所产生的振动，在运作的频宽范围能有效的被消除。

传统的平台材料或结构一般分为花岗岩(granite)、蜂巢状平台(honeycomb table)以及钢筋混凝土结构的平台(reinforced concretestructure)。花岗岩的平台可提供较佳的结构稳定性，但是由于材质的关系，使得平台结构的重量较重。蜂巢状平台相比之下虽然质轻，但是因为结构有一定的复杂度，造成在制造及组装程序上的困难，目前只适用于高单价的光学桌。钢筋混凝土结构的平台，其重量介于以上两者之间，但是其动态特性比以上两者均差，只适用于一般半导体及光电厂的制造现场。

目前精密光学研究或相关的精密设备所需要的承载平台的产品以美国专利US5,962,104号、US5,500,269号、US5,433,302号、US5,558,920号、US6,001,451号专利案与中国台湾专利I268163号、I280193号专利案等专利公开的技术为主。上述的美国专利大多以蜂巢状结构组成，均偏重于如何将光学桌中残余的异物加以清除的技术，而中国台湾专利所公开的技术则是以钢筋混凝土平台以及模组化结构支撑架为主，尚没有出现如本实用新型一样，在平台框体内部使用阻尼材料的技术。

其中美国专利US5,962,104号专利案虽然已经引入模组化的设计概念，但是组合成平台结构的单一零件在几何形状上仍显复杂，进而增加单件制造的成本。美国专利US6,001,451号专利案则是三明治夹层板的结构，无法有效降低平台结构的单位面积重量，使得平台结构本身过重。

鉴于以上所述，现行的高刚性平台或光学桌有无法同时兼顾重量过重、组装不易以及有效抑制振动的问题存在。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种高阻尼吸振平台结构，其提供的高刚性高阻尼的结构，具有承载精密重型设备所需的载重能力，并可抑制环境传来的振动及平台上设备本身所产生的振动。

本实用新型的另一目的是提供一种高阻尼吸振平台结构，其提供的组成构件，使平台结构可容易的被组装，且不造成生产制造上的困难。

本实用新型的另一目的是提供一种高阻尼吸振平台结构，其提供的轻量化结构，在减轻平台结构重量的同时，能维持足够的刚性强度。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种高阻尼吸振平台结构，包含一基座、一框体结构、一阻尼填充材以及一上盖板。其中基座是由多数个型钢所组合而成，框体结构以定位结构定位在基座上，该框体结构的内侧面形成有阻尼接着剂，并具有一阻尼材料填充空间。阻尼填充材填充于框体结构中的阻尼材料填充空间，上盖板盖覆在该阻尼填充材上作为机台承置面，供一标的机台承置，该上盖板的底面形成有阻尼接着剂，并以接合结构定位在框体结构。

此外，也可任意由上盖板的底面向下延伸出一预定高度的补强肋或于框体结构的内侧面向水平方向延伸出一预定长度的补强肋，另可于框体结构的内侧面灌注形成一结构环氧树脂层，借以增加平台结构的强度。

上述的高阻尼吸振平台结构，其中，该阻尼填充材包括有高阻尼的聚烯类高分子材料与环氧类聚合高分子材料的混合材料。

为了实现上述目的，本实用新型还提供了一种高阻尼吸振平台结构，包含：一框体结构，该框体结构中具有一阻尼材料填充空间；一阻尼填充材，填充于该框体结构中的阻尼材料填充空间，该阻尼填充材系由多数个阻尼填充模块所叠置组成；一上盖板，盖覆在该阻尼填充材上形成机台承置面，能承置一机台。

本实用新型对照现有技术的功效：

本实用新型所采用的技术手段，可以使得承载平台的抑制振动能力增强，符合精密设备承载平台的振动标准，在固定的频宽范围内不会放大振动及延长振动，有效减少机台的故障发生率，从而提升产品的合格率。