[实用新型]一种无胶粘剂挠性覆铜箔后处理装置

权利要求书

1、一种无胶粘剂挠性覆铜箔后处理装置，其特征在于：包括高温真空烘箱(1)，在高温真空烘箱(1)设有出气管(2)，所述的出气管(2)上设有能对高温真空烘箱(1)抽真空的真空泵(4)，在所述的出气管(2)上设有能把抽真空过程中高温真空烘箱(1)内出来的气体中的溶剂回收的溶剂回收装置(3)。

2、根据权利要求1所述的一种无胶粘剂挠性覆铜箔后处理装置，其特征是所述的溶剂回收装置(3)与一冷水机(5)相连接，所述的冷水机(5)其冷水出水管与设置在溶剂回收装置(3)下部的进水管相连接，溶剂回收装置(3)上部的出水管和冷水机(5)的热水进水管相连接。

3、根据权利要求1所述的一种无胶粘剂挠性覆铜箔后处理装置，其特征是所述的出气管(2)与设置在溶剂回收装置(3)下部的进气口相连接，所述的真空泵(4)与设置在溶剂回收装置(3)上部的出气口相连接。

4、根据权利要求2所述的一种无胶粘剂挠性覆铜箔后处理装置，其特征是所述的冷水机(5)其冷水出水管与设置在高温真空烘箱(1)其密封圈上的进水管相连接，设置在高温真空烘箱(1)其密封圈上的出水管与冷水机(5)其热水进水管相连接。

5、根据权利要求1所述的一种无胶粘剂挠性覆铜箔后处理装置，其特征是所述的真空泵(4)，包括串联设置的第一真空泵和第二真空泵。