[实用新型]蚀刻机无效

专利信息
申请号: 200820168518.6 申请日: 2008-11-20
公开(公告)号: CN201313937Y 公开(公告)日: 2009-09-23
发明(设计)人: 沈慕禹 申请(专利权)人: 绍兴华立电子有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 绍兴市越兴专利事务所 代理人: 蒋卫东
地址: 312000浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 蚀刻
【说明书】:

技术领域

本实用新型公开了一种蚀刻机,属于蚀刻设备技术领域。

背景技术

现有蚀刻机的进液方式为非对流式,如图1所示,蚀刻液由数个位于同侧的进液口1进入各自对应的喷淋管2内,再由安装在各喷淋管2上的数个喷嘴3将蚀刻液雾化后喷出。每个进液口1连通两条上下分布的喷淋管2。各上、下喷淋管2的喷嘴3之间安装有滚轮输送装置4。金属板5由滚轮输送装置4的前侧进入,后侧传出。输送过程中,蚀刻液经各上、下喷淋管2的喷嘴3雾化后,从上、下方向喷淋到金属板5上,对金属板5进行蚀刻。由该非对流式蚀刻机蚀刻出来的金属板5,存在蚀刻不均匀的问题,而该问题主要由以下原因造成:位于喷淋管2进液端的喷嘴3压力大,位于喷淋管2末端的喷嘴3压力小,从而导致蚀刻不均匀,影响产品性能。

实用新型内容

为了解决上述问题,本实用新型提供了一种蚀刻均匀的蚀刻机。

为了实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案为:

一种蚀刻机,包括安装在箱体内的滚轮输送装置,所述箱体左右两侧均开设有数个进液口,每个进液口连通有两条上下分布的喷淋管,每条喷淋管上安装有数个喷嘴,滚轮输送装置位于各上、下喷淋管的喷嘴之间,且连通左侧进液口的各喷淋管与连通右侧进液口的各喷淋管相互间隔排列。

作为上述方案的进一步设置,所述各喷淋管的间隔距离H为15厘米。

所述连通左侧进液口的各喷淋管上安装有7个喷嘴,连通右侧进液口的各喷淋管上安装有6个喷嘴。

采用上述方案后,本实用新型在箱体左右两侧均开设有进液口,连通左侧进液口的各喷淋管与连通右侧进液口的各喷淋管相互间隔排列,解决了单侧进液口,因位于喷淋管进液端的喷嘴压力大、位于喷淋管末端的喷嘴压力小而产生的蚀刻不均匀问题。

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

附图说明

图1为现有技术非对流式蚀刻机的结构示意图;

图2为本实用新型蚀刻机的结构示意图。

具体实施方式

如图2所示,本实用新型蚀刻机,包括左右两侧均开设有数个进液口8的箱体6,每个进液口8连通有两条上下分布的喷淋管9,每条喷淋管9上安装有数个喷嘴10,各上、下喷淋管9的喷嘴10之间安装有滚轮输送装置7,且连通左侧进液口8的各喷淋管9与连通右侧进液口8的各喷淋管9相互间隔排列。

连通左侧进液口8的各喷淋管9,其位于喷淋管9进液端的喷嘴10压力大、位于喷淋管9末端的喷嘴10压力小;连通右侧进液口8的各喷淋管9,其位于喷淋管9进液端的喷嘴10压力大、位于喷淋管9末端的喷嘴10压力小。通过左右两侧进液口8的结合设置,克服了单侧进液的缺点,解决了金属板11蚀刻不均匀问题。

为了使各喷淋管9及喷嘴10的布局更为合理,以便进一步提高蚀刻效果及生产效率,各喷淋管9的间隔距离H为15厘米;连通左侧进液口8的各喷淋管9上安装有7个喷嘴10,连通右侧进液口8的各喷淋管9上安装有6个喷嘴10。

上述实施例仅用于解释说明本实用新型的发明构思,而非对本实用新型权利保护的限定,凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动,均应落入本实用新型的保护范围。

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