[实用新型]蚀刻机无效
| 申请号： | 200820168518.6 | 申请日： | 2008-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN201313937Y | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 沈慕禹 | 申请（专利权）人： | 绍兴华立电子有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 312000浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 | ||
【权利要求书】：
1、一种蚀刻机，包括安装在箱体(6)内的滚轮输送装置(7)，其特征在于：所述箱体(6)左右两侧均开设有数个进液口(8)，每个进液口(8)连通有两条上下分布的喷淋管(9)，每条喷淋管(9)上安装有数个喷嘴(10)，滚轮输送装置(7)位于各上、下喷淋管(9)的喷嘴(10)之间，且连通左侧进液口(8)的各喷淋管(9)与连通右侧进液口(8)的各喷淋管(9)相互间隔排列。
2、如权利要求1所述的蚀刻机，其特征在于：所述各喷淋管(9)的间隔距离H为15厘米。
3、如权利要求1所述的蚀刻机，其特征在于：所述连通左侧进液口(8)的各喷淋管(9)上安装有7个喷嘴(10)，连通右侧进液口(8)的各喷淋管(9)上安装有6个喷嘴(10)。
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