[实用新型]新型太阳电池等离子刻蚀模具无效
申请号: | 200820168516.7 | 申请日: | 2008-11-20 |
公开(公告)号: | CN201289861Y | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 俞相明;周晓兵 | 申请(专利权)人: | 浙江向日葵光能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/68;H01L21/687;H01L21/3065 |
代理公司: | 绍兴市越兴专利事务所 | 代理人: | 蒋卫东 |
地址: | 312071浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 新型 太阳电池 等离子 刻蚀 模具 | ||
1、一种新型太阳电池等离子刻蚀模具,包括底盘(9)、底板(1)、盖板(2),安装在底盘(9)上方的加压装置,其特征在于:
还包括安装在底盘(9)上的定位系统,该定位系统包括一个L型定位块(11),三个定位柱(12a、12b、12c),两个定位销(13a、13b);其中,定位柱(12a)、定位柱(12b)由上而下竖直排列固定安装在L型定位块(11)的竖直部(14)上,定位柱(12c)固定安装在L型定位块(11)的横向部(15)上;位于定位柱(12a)、定位柱(12b)之间的竖直部(14)上开设有与定位销(13a)相配合的通孔(16a),且定位销(13a)底端延伸至通孔(16a)外;位于定位柱(12c)左侧的横向部(15)上开设有与定位销(13b)相配合的通孔(16b),且定位销(13b)底端延伸至通孔(16b)外;
所述加压装置包括一对立柱(3a、3b)、加压条(4)、螺栓(5)、数控扭力扳手(6),加压条(4)水平设置在立柱(3a、3b)的上端,加压条(4)中间开设有与螺栓(5)相配合的螺孔(7),且螺孔(7)中心线垂直于加压条(4);所述盖板(2)的中心开设有容纳槽(2a);数控扭力扳手(6)与螺栓(5)相配合;
所述底盘(9)与底板(1)之间设置有不少于三个的支撑柱(17),且所有支撑柱(17)等高。
2、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述竖直部(14)与横向部(15)的连接处呈圆弧面(18)。
3、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述位于定位柱(12a)、定位柱(12b)之间的竖直部(14)向外凸出,形成一凸台(19),通孔(16a)设置于凸台(19)中间。
4、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述加压条(4)同侧的左右两端,分别开设有凹槽(4a)、凹槽(4b);立柱(3a)、立柱(3b)上端分别开设有沟槽(8a)、沟槽(8b),且沟槽(8a)、沟槽(8b)可分别嵌套于凹槽(4a)、凹槽(4b)内。
5、如权利要求4所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述凹槽(4a)、凹槽(4b)呈倒U型;沟槽(8a)、沟槽(8b)呈圆环型。
6、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述支撑柱(17)固定安装于底盘(9)上。
7、如权利要求6所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述支撑柱(17)为三个,且均匀分布于底盘(9)上。
8、如权利要求7所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述支撑柱(17)为圆柱体。
9、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述底盘(9)呈圆形。
10、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述L型定位块(11),三个定位柱(12a、12b、12c),两个定位销(13a、13b)选用不锈钢制成;加压条(4)选用铝合金制成,底板(1)、盖板(2)、立柱(3a、3b)选用不锈钢制成;支撑柱(17)选用不锈钢制成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江向日葵光能科技有限公司,未经浙江向日葵光能科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200820168516.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种步进电机电源保护电路
- 下一篇:方形LED模组
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的