[实用新型]新型太阳电池等离子刻蚀模具无效

专利信息
申请号: 200820168516.7 申请日: 2008-11-20
公开(公告)号: CN201289861Y 公开(公告)日: 2009-08-12
发明(设计)人: 俞相明;周晓兵 申请(专利权)人: 浙江向日葵光能科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/68;H01L21/687;H01L21/3065
代理公司: 绍兴市越兴专利事务所 代理人: 蒋卫东
地址: 312071浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 新型 太阳电池 等离子 刻蚀 模具
【权利要求书】:

1、一种新型太阳电池等离子刻蚀模具,包括底盘(9)、底板(1)、盖板(2),安装在底盘(9)上方的加压装置,其特征在于:

还包括安装在底盘(9)上的定位系统,该定位系统包括一个L型定位块(11),三个定位柱(12a、12b、12c),两个定位销(13a、13b);其中,定位柱(12a)、定位柱(12b)由上而下竖直排列固定安装在L型定位块(11)的竖直部(14)上,定位柱(12c)固定安装在L型定位块(11)的横向部(15)上;位于定位柱(12a)、定位柱(12b)之间的竖直部(14)上开设有与定位销(13a)相配合的通孔(16a),且定位销(13a)底端延伸至通孔(16a)外;位于定位柱(12c)左侧的横向部(15)上开设有与定位销(13b)相配合的通孔(16b),且定位销(13b)底端延伸至通孔(16b)外;

所述加压装置包括一对立柱(3a、3b)、加压条(4)、螺栓(5)、数控扭力扳手(6),加压条(4)水平设置在立柱(3a、3b)的上端,加压条(4)中间开设有与螺栓(5)相配合的螺孔(7),且螺孔(7)中心线垂直于加压条(4);所述盖板(2)的中心开设有容纳槽(2a);数控扭力扳手(6)与螺栓(5)相配合;

所述底盘(9)与底板(1)之间设置有不少于三个的支撑柱(17),且所有支撑柱(17)等高。

2、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述竖直部(14)与横向部(15)的连接处呈圆弧面(18)。

3、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述位于定位柱(12a)、定位柱(12b)之间的竖直部(14)向外凸出,形成一凸台(19),通孔(16a)设置于凸台(19)中间。

4、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述加压条(4)同侧的左右两端,分别开设有凹槽(4a)、凹槽(4b);立柱(3a)、立柱(3b)上端分别开设有沟槽(8a)、沟槽(8b),且沟槽(8a)、沟槽(8b)可分别嵌套于凹槽(4a)、凹槽(4b)内。

5、如权利要求4所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述凹槽(4a)、凹槽(4b)呈倒U型;沟槽(8a)、沟槽(8b)呈圆环型。

6、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述支撑柱(17)固定安装于底盘(9)上。

7、如权利要求6所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述支撑柱(17)为三个,且均匀分布于底盘(9)上。

8、如权利要求7所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述支撑柱(17)为圆柱体。

9、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述底盘(9)呈圆形。

10、如权利要求1所述的新型太阳电池等离子刻蚀模具,其特征在于:所述L型定位块(11),三个定位柱(12a、12b、12c),两个定位销(13a、13b)选用不锈钢制成;加压条(4)选用铝合金制成,底板(1)、盖板(2)、立柱(3a、3b)选用不锈钢制成;支撑柱(17)选用不锈钢制成。

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