[实用新型]单晶硅加料器

说明书

【技术领域】

本实用新型属于一种与单晶炉匹配使用的附件，尤其是属于一种给单晶炉主室中石英坩埚添加原料的单晶硅加料器。

【背景技术】

在本实用新型作出之前，利用单晶炉拉制单晶棒，原料一次性装入主室石英坩埚内，然后，按照工艺要求操控单晶炉拉制单晶棒。这种方式存在如下问题：1、由于单晶硅原料呈固体状，固体与固体之间必然存在间隙，使一次性投料往往不能做到足量投料，而石英坩埚又是一次性使用的易损品，因此，石英坩埚不能发挥最大效用，利用率低。2、针对一些电阻率有特殊要求的单晶棒，如：在要求单晶棒电阻率范围比较狭的情况下，由于在拉制单晶过程中没有办法实现加料，因此，也就没有办法通过加入原生多晶以提高尾部单晶的电阻率，达到充分利用尾料的目的，以至于现有技术在单晶棒拉完后，还需截去不合格部分，再通过清洗、烘干后回炉，费时费力成本高。

【发明内容】

为克服现有技术存在的上述缺陷，本实用新型旨在提供一种单晶硅加料器，有此加料器后，现有单晶炉在拉制单晶棒过程中，就能实现足量投料的目的，从而最大限度地发挥石英坩埚效用，提高单晶炉生产效率，降低单品棒拉制成本，另外，针对一些电阻率有特殊要求的单晶棒，可以通过加入原生多晶提高尾部单晶的电阻率，达到充分利用尾料的目的。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

这种单晶硅加料器的结构要点是：一种单晶硅加料器，其特征是：一两端开口直筒状的筒体，筒体内腔中置有一根具有轴套的中心轴，轴套由径向支撑杆定位在筒体上；所述中心轴下端设有一重锤，重锤向下伸出筒体的下端口，筒体下端口的端口壁上环设有多片合页，重锤上具有一个搭接平面，所述搭接平面为水平状态下合页的接纳面；所述中心轴向上伸出筒体的上端口，中心轴的顶部为连接部，该连接部结构与单晶炉副室中的籽晶重锤连接部的结构相匹配，连接部下方的中心轴上设有若干个限止中心轴作轴向移动的定位销孔；所述筒体的上端口端面外凸形成一挂沿。

如上所述的单晶硅加料器，其特征是：所述轴套为整体件，轴套的上端面与所述筒体的上端口平面处在同一水平面上，所述中心轴定位销孔则高于所述筒体的上端口平面。

如上所述的单晶硅加料器，其特征是：设置在所述筒体下端口上具有6块翻板式合页，每块合页呈扇型，合页与合页之间具有间隙。

如上所述的单晶硅加料器，其特征是：所述挂沿为环状的整体件。

有益效果：在本实用新型作出之前，未见报道和使用。发明本加料器后，彻底改变了现有单晶炉拉制单晶棒，原料需要一次性装入主室石英坩埚的现状，利用本加料器，如果发现石英坩埚内熔化后的原料不足时，即可打开单晶炉副室添加原料，实现了在单晶炉拉制单晶棒过程中添加原料的目的。中途可以添加原料，其意义在于：1、确保每只石英坩埚都能获得足量投料，解决了原料固体与固体之间存在间隙，不能足量投料的缺陷，使每只石英坩埚都能发挥最大效用，利用率高。2、每炉单晶棒拉制，埚底余料都是一定的，由于中途可以添加原料，有效提高了单晶棒的成品率。3、针对一些电阻率有特殊要求的单晶棒，可以通过加入原生多晶提高尾部单晶的电阻率，达到充分利用尾料的目的；并且根据要求还可以进行再次加料，二次利用石英坩埚。

【附图说明】

图1为本实用新型一个实施例的立体结构示意图。为表示清楚，图中筒体下端口处作了旋转处理。

图中：重锤1，合页2，中心轴3，固定座4，连接件41，定位轴42，筒体5，下端口51，重锤上弧面6，连接螺母61，搭接平面62，支撑杆7，筒体内壁8，轴套9，开口槽10，下插销11，定位销孔111，挂沿12。

【具体实施方式】

参见图1。筒体5以中心轴3所在的开口槽10为上部。

筒体5的直径、长度可根据匹配使用的单晶炉结构而定，即：直径以设置在主室至副室间的喉口阀(翻板阀或者插板阀)的密封处内径为基准，长度则以喉口阀上平面至石英坩埚上方合适位置为基准，决定筒体5的直径、长度。

中心轴3是一根控制杆，控制合页2的开启。它设置在筒体5的中轴线上，其外围套设了轴套9。轴套9是一只固定部件，它由若干同一水平面上的三根支撑杆7定位在筒体5上端面挂沿12的表面，以及筒体5的内壁上，确保中心轴3只能始终在筒体5内腔的中轴线上作轴向移动。轴套9可以是采用整体设置，也可以采用分段设置的技术方案，而采用整体件为好。