[实用新型]手动供气气体柜

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气体柜，尤其涉及一种带手动供气功能的气体柜。

背景技术

目前的气体柜在进行供气时，采用的是用电子盘进行自动控制气动阀打开，24小时不间断的给机台提供气体。一侧进行供应，一侧进行备用。一侧气瓶用空时，进行自动切换。在自动切换的过程中，为了保证工作人员有个安全环境，以免危险气体散出，气体柜由连续运转的排风系统将危险气体送至安全处理系统。对于用量比较大的气体例如C₂F₆或者NF₃，如果仅仅停止1-2分钟的供应，就会造成机台的断气，造成机台的芯片的报废，影响生产造成经济损失。例如当气柜的电子盘面发生故障，或者电源发生故障而掉电时，在这种状态下，电子盘面将控制气动阀处于关闭装态，停止供气，相应的工厂的生产也将随着而停止。由于目前的气体是通过电子盘面控制3个气动阀门同时打开而进行正常的供气的，如图1中的三个气动阀门21，三个气动阀门21相互之间为串联的关系，由气体输送管线22连接，因此要使得气体柜处于供气状态，三个气动阀门21必须都处于打开状态，而要使得气动阀门处于打开状态，则与气动阀门21通过气动管线相连的电子盘(图中未示)控制气体进入气动管线，通过压力至少是80psi(磅/平方英寸)的气体冲击气动阀门21，使得气动阀门21打开。假设此时的气动阀门21的和电子盘相连的气动管线内，充有80psi的氮气使气动阀门21打开，处于供气状态，如果气体盘面出现问题，电子盘面控制的80psi的氮气停止供应，气动阀门21将关闭，供气也将停止。为了恢复供气，在这种情况下，我们一般采取普通的强制供气设备进行供气，将三个气动阀门21的气动管线(图中未示)拔下，插到强制供气设备上，充80psi的氮气进行强制供气，使三个气动阀门21打开，这样的一个过程要花费较长的时间，正如上面提到的，长时间停止供气，就会造成机台的断气，尤其是用量比较大的气体例如C₂F₆或者NF₃，甚至有可能造成机台芯片的报废，影响生产的正常进行，同时也给工厂带来巨大的经济损失，因此，必须缩短气动阀门恢复供气的时间。

实用新型内容

为了解决现有技术中，气动阀门恢复供气时间过长从而容易引起生产事故的问题，本实用新型提出一种能使得气动阀门快速恢复供气的可以手动供气的气体柜。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种手动供气气体柜，包括至少三个气动阀门，所述气动阀门之间由气体输送管线连接，所述气动阀门皆通过气动管线和一手动阀门相连，所述手动阀门通过气动管线和供气设备相连。

可选的，所述气动阀门之间的连接关系为串联。

可选的，所述气动阀门至少加压力为80psi气体的情况下开启。

可选的，所述供气设备供应的气体为压力等于或大于80psi的气体。

可选的，所述气体为氮气。

可选的，所述气动阀门和电子盘通过气动管线相连，且由所述电子盘控制所述气动阀门的开或关。

与传统气体柜相比，本实用新型提供的手动供气气体柜通过增设一连接供气设备的手动阀门，在出现故障而气动阀门关闭时，避免了将气动阀门的气动管线拔下，插到强制供气设备上充气的过程，大大减少了重开气动阀门的时间，迅速的给机台恢复供气，从而保护了机台的芯片的正常生产，避免给工厂带来不必要的经济损失。

附图说明

图1是现有技术的示意图；

图2是本实用新型手动供气气体柜的示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型的手动供气气体柜作进一步的详细说明。