[实用新型]手动供气气体柜有效
| 申请号： | 200820156896.2 | 申请日： | 2008-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN201322188Y | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 王涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 手动 供气 气体 | ||
【权利要求书】：
1.一种手动供气气体柜，包括至少三个气动阀门，所述气动阀门之间由气体输送管线连接，其特征在于所述气动阀门皆通过气动管线和一手动阀门相连，所述手动阀门通过气动管线和供气设备相连。
2.根据权利要求1所述手动供气气体柜，其特征在于所述气动阀门之间的连接关系为串联。
3.根据权利要求1所述手动供气气体柜，其特征在于所述气动阀门至少加压力为80psi气体的情况下开启。
4.根据权利要求3所述手动供气气体柜，其特征在于所述供气设备供应的气体为压力等于或大于80psi的气体。
5.根据权利要求3或4所述手动供气气体柜，其特征在于所述气体为氮气。
6.根据权利要求1所述手动供气气体柜，其特征在于每个所述气动阀门和电子盘通过气动管线相连，且由所述电子盘控制所述气动阀门的开或关。
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