[实用新型]夹具及其切割装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种夹具及其切割装置，具体涉及一种化学机械抛光中应用的支撑膜垫片的夹具及其切割装置。

背景技术

在化学机械抛光(CMP)设备中，其中研磨头上包括有支撑膜(MembraneSupport)、需要研磨的硅片以及压力调整装置等。硅片被气体压力吸附于支撑膜之上，通常为了实现硅片和支撑膜之间的压力缓冲，会在支撑膜和硅片之间放置一层用于压力缓冲的支撑膜垫片(Membrane Support Pad)。其中支撑膜垫片一般是塑料等材料制成，具有易切割的特点。

如图1所示，支撑膜1中间有若干圆孔，硅片可以通过圆孔吸附在支撑膜1上。图2所示为支撑膜垫片2，中间同样具有若干圆孔。结合图1和图2所示，其中支撑膜上面的定位孔12与支撑膜垫片上面的定位孔22形状和尺寸相同，其位置一一对应。在硅片吸附于支撑膜1之前，需要把支撑膜垫片2通过定位孔对准粘附到支撑膜1上。当前的支撑膜垫片产品中，支撑膜垫片2通过双层塑料膜粘贴包住，其中支撑膜垫片的圆周边缘部分由于在粘附安装之前会受空气的影响而性能变差，所以支撑膜垫片2的直径一般制造成比支撑膜1的直径大。因此，粘附后需要一个对支撑膜垫片2多余圆周部分切割去除的过程。

当前晶圆厂中，主要是在支撑膜垫片粘附于支撑膜以后通过刀片手工切割，效率相对较低，切割后的圆周不平滑，并且可能会对支撑膜造成划伤。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是：提供一种快速高效的用于支撑膜垫片切割的夹具及其切割装置。

本实用新型所提供的一种夹具，用于装夹粘附在支撑膜上的支撑膜垫片，所述夹具包括第二夹板、置于第二夹板上的直径与所述支撑膜相同的第一夹板、以及穿通第一夹板和第二夹板的定位柱，第一夹板和第二夹板之间用于装夹支撑膜垫片。

其中，第一夹板作为压板，第二夹板作为底板；第二夹板为圆形，其直径大于所述第一夹板的直径；所述第一夹板和第二夹板中同时设置有两个或两个以上的定位孔，其孔的形状、大小与位置与支撑膜垫片中的定位孔的形状、大小与位置相同；定位柱为两个或者两个以上，通过定位柱两端的螺母，对第一夹板和第二夹板进行固定。

根据对本实用新型提供的夹具，本实用新型进一步提供一种用于切割粘附在支撑膜上的支撑膜垫片的切割装置，所述切割装置包括：

支撑板；

置于支撑板上第二夹板；

置于第二夹板上的直径与所述支撑膜相同的第一夹板；

固定于支撑板上，并穿通第一夹板和第二夹板的定位柱；

与支撑板相连接的机械手臂；

以及与机械手臂连接用于切割的刀具。

其中，所述第二夹板为圆形，其直径大于所述第一夹板的直径；所述第一夹板和第二夹板中设置有两个或两个以上定位孔，其孔的形状、大小与位置与支撑膜垫片中的定位孔的形状、大小与位置相同；所述定位柱为两个或者两个以上，定位柱一端通过螺纹连接方式固定于支撑板上，另一端通过螺母固定第一夹板和第二夹板于支撑板上；机械手臂的一端与支撑板连接，另一端与刀具连接。

本实用新型的技术效果是：由于第一夹板和第二夹板上的定位孔与支撑膜垫片中的定位孔的形状与位置相同，夹具中的定位柱可以依次穿通第一夹板、支撑研磨垫和第二夹板，通过支撑柱两端的螺纹固定，支撑研磨垫装夹固定于第一夹板和第二夹板之间。沿着第一夹板的圆周对支撑研磨垫进行切割，可以切割出与支撑膜形状相同的支撑研磨垫。

本实用新型提供的夹具，可以实现对支撑膜垫片的固定装夹。本实用新型所提供的切割装置，对固定装夹后的支撑膜垫片可以切割出与支撑膜形状相同的支撑研磨垫。切割装置结构简单，切割方便，效率高，并且能够避免切割时的对支撑膜造成划伤。

附图说明

图1为现有技术中的一种支撑膜；

图2为现有技术中的一种支撑膜垫片；

图3为本实用新型所提供的一种夹具的具体实施例的示意图；

图4为本实用新型所提供具体实施例的夹具的应用示意图；

图5为一种切割装置的具体实施例的示意图；

图6为本实用新型所提供具体实施例的切割装置应用示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型作进一步的详细描述。

具体实施例一