[实用新型]夹具及其切割装置有效
申请号: | 200820151641.7 | 申请日: | 2008-08-05 |
公开(公告)号: | CN201257682Y | 公开(公告)日: | 2009-06-17 |
发明(设计)人: | 王永华;弓艳霞 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B26D7/02 | 分类号: | B26D7/02;B26D1/01 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 王 洁 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹具 及其 切割 装置 | ||
1.一种夹具,用于装夹粘附在支撑膜上的支撑膜垫片,其特征在于包括第二夹板、置于第二夹板上的直径与所述支撑膜相同的第一夹板、以及穿通第一夹板和第二夹板的定位柱,第一夹板和第二夹板之间用于装夹支撑膜垫片。
2.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于所述于第二夹板为圆形,其直径大于或等于所述第一夹板的直径。
3.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于所述第一夹板和第二夹板中设有定位孔,其孔的形状、大小与位置与支撑膜垫片中的定位孔的形状、大小与位置相同。
4.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于所述定位柱可以通过螺母对第一夹板和第二夹板进行固定。
5.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于所述定位柱为两个或者两个以上。
6.一种切割装置,用于切割粘附在支撑膜上的支撑膜垫片,其特征在于包括:
支撑板;
置于支撑板上第二夹板;
置于第二夹板上的直径与所述支撑膜相同的第一夹板;
固定于支撑板上,并穿通第一夹板和第二夹板的定位柱;
与支撑板相连接的机械手臂;
以及与机械手臂连接用于切割的刀具。
7.根据权利要求6所述的切割装置,其特征在于第二夹板为圆形,其直径大于所述第一夹板的直径。
8.根据权利要求6所述的切割装置,其特征在于所述第一夹板和第二夹板中具有定位孔,其孔的形状、大小与位置与支撑膜垫片中的定位孔的形状、大小与位置相同。
9.根据权利要求6所述的切割装置,其特征在于所定位柱通过螺纹连接方式固定于支撑板上。
10.根据权利要求6所述的切割装置,其特征在于所述定位柱通过螺母固定第一夹板和第二夹板于支撑板上。
11.根据权利要求6所述的切割装置,其特征在于所述定位柱为两个或者两个以上。
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