[实用新型]板材蚀刻处理设备

说明书

技术领域

本实用新型为一种板材蚀刻处理设备，尤其是一种利用文氏管原理吸入空气以帮助蚀刻反应，并避免有毒气体外泄的板材蚀刻处理设备。

背景技术

蚀刻制程为形成电路板、晶圆等的过程中很重要的一环，其是将一板材上未被光阻遮蔽的薄膜去除的步骤，而在蚀刻反应中会使用蚀刻液与薄膜反应，由于蚀刻液与薄膜产生氧化反应，因此在反应中通常会加入氧化剂，如双氧水等来帮助反应。

不过特别需要注意的是，该蚀刻液为有毒液体，所以一般的板材蚀刻处理设备皆放置于一密闭的空间中，以避免由蚀刻液所蒸发的有毒气体外泄至外界环境中，而影响操作人员的健康。

然而，由于该板材蚀刻处理设备设置于密闭的空间，因此环境中缺乏氧气，所以在蚀刻液中需要添加大量的氧化剂，以便反应的进行。然而，大量的氧化剂会造成制作成本上的负担，因此若能在蚀刻时通入些许氧气，则可减少氧化剂的使用量，以节省成本。

发明内容

本发明人有鉴于既有的板材蚀刻处理设备为避免有毒气体外泄，所以会被设置于缺乏氧气的密死循环境中，故需在蚀刻液中加入大量的氧化剂，造成成本上的负担，影响板材蚀刻的情形，故经过不断的尝试与努力后，终于创作出此板材蚀刻处理设备。

本实用新型之目的在于提供一种利用文氏管原理吸入空气并避免有毒气体外泄的板材蚀刻处理设备。

为达上述目的，本实用新型之板材蚀刻处理设备，其包括：

一蚀刻处理槽，其内部分设一板材输送装置以及一蚀刻液喷射装置；

一回收装置，其包括一输出管、一输入管以及设置于该输出管和输入管之间的一加压管，该输出管连通于该蚀刻处理槽的槽底，该输入管连通于该蚀刻处理槽的蚀刻液喷射装置，而该加压管的管径小于该输出管的管径，且该加压管之侧壁设有一进气口。

由于蚀刻液从该蚀刻液喷射装置喷出且与板材反应后，会落入槽底，再由该回收装置将该蚀刻液送回该蚀刻处理槽的槽底内，并可再由一管线将含有空气的蚀刻液送入蚀刻液喷射装置中，故能重复使用蚀刻液，而本实用新型在回收装置的输出管和输入管之间设置一加压管，且该加压管的管径小于该输出管，因此当蚀刻液自输入管流入加压管时，蚀刻液的流速增加而会产生负压，使得外界的空气由该进气口进入该板材蚀刻处理设备中，所以通过外界空气中所含之氧气的加入，使得氧化剂的添加量减少，以减少蚀刻所耗费的成本。

附图说明

图1为本实用新型的示意图。

图2为本实用新型控制管的部分立体图。

图3为本实用新型的实施状态示意图。

具体实施方式

请参看图1所示，本实用新型之板材蚀刻处理设备，其包括：

一蚀刻处理槽10，其内部包括一板材输送装置以及一蚀刻液喷射装置，该板材输送装置包括一上滚轮组11以及一下滚轮组12，该上、下滚轮组11、12各包括复数平行排列且具有滚轮112、122的上、下杆体111、121，以承载并运送板材40，该蚀刻液喷射装置包括复数上喷射管13以及复数下喷射管14，该上喷射管13可设置于该上滚轮组11的上方，且较佳的是平行间隔设置于该上杆体11之间，而该下喷射管14可设置于下滚轮组12之下方，且较佳的是平行间隔设置于该下杆体121之间，该等上、下喷射管13、14各具有复数喷嘴131、141，该蚀刻处理槽10之槽底容纳有由该蚀刻液喷射装置喷出且剩余的蚀刻液15，且该蚀刻处理槽10之槽底设有一含泵的管线，其连通至该等上、下喷射管13、14，以将槽底的蚀刻液输送至该等上、下喷射管13、14，以重复利用该蚀刻液；

一回收装置，其包括一输出管21、一输入管23以及设置于该输出管21和输入管23之间的一加压管22，该输出管21连通于该蚀刻处理槽10的槽底且具有一泵211，以将该蚀刻处理槽10槽底的蚀刻液15抽出，该输入管23连通于该蚀刻处理槽10的槽底，以令管线再将蚀刻液15自该输入管23送至该蚀刻处理槽10的上、下喷射管13、14，而该加压管22的管径小于该输出管21的管径，且该加压管22的管壁设有一进气口221；