[实用新型]板材蚀刻处理设备无效

专利信息
申请号: 200820151544.8 申请日: 2008-08-01
公开(公告)号: CN201242660Y 公开(公告)日: 2009-05-20
发明(设计)人: 徐美华 申请(专利权)人: 徐美华
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30;H05K3/06
代理公司: 上海开祺知识产权代理有限公司 代理人: 汪克臻
地址: 中国台湾桃*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 板材 蚀刻 处理 设备
【权利要求书】:

1.一种板材蚀刻处理设备,其特征在于,包括:

一蚀刻处理槽,其内部分设一板材输送装置以及一蚀刻液喷射装置;

一回收装置,其包括一输出管、一输入管以及设置于该输出管和输入管之间的一加压管,该输出管连通于该蚀刻处理槽的槽底,该输入管亦连通于该蚀刻处理槽的蚀刻液喷射装置,而该加压管的管径小于该输出管的管径,且该加压管之侧壁设有一进气口。

2.如权利要求1所述的板材蚀刻处理设备,其特征在于,其尚设有一阀门装置,其以一连接管连接于该加压管的进气口。

3.如权利要求2所述的板材蚀刻处理设备,其特征在于,该阀门装置包括一垂直设置的控制管,该控制管之一端具有连通于该连接管的开口,另端则形成有一气体入口,而该控制管内部具有一隔板,该隔板中央穿设有一气体通道,且该隔板面对该气体入口之一表面设有复数抵掣凸块,在该隔板与气体入口之间设有一阻挡块。

4.如权利要求1、2或3所述的板材蚀刻处理设备,其特征在于,该加压管的管径亦小于该输入管的管径,且该输出管以及该输入管皆设有泵。

5.如权利要求1、2或3所述的板材蚀刻处理设备,其特征在于,该板材输送装置包括一上滚轮组以及一下滚轮组,该上、下滚轮组各包括复数平行排列且具有滚轮的上、下杆体,该蚀刻液喷射装置包括复数上喷射管以及复数下喷射管。

6.如权利要求4所述的板材蚀刻处理设备,其特征在于,该板材输送装置包括一上滚轮组以及一下滚轮组,该上、下滚轮组各包括复数平行排列且具有滚轮的上、下杆体,该蚀刻液喷射装置包括复数上喷射管以及复数下喷射管。

7.如权利要求5所述的板材蚀刻处理设备,其特征在于,该上喷射管设置于该上滚轮组的上方,该下喷射管设置于下滚轮组之下方。

8.如权利要求5所述的板材蚀刻处理设备,其特征在于,该上喷射管平行间隔设置于该上杆体之间,该下喷射管平行间隔设置于该下杆体之间。

9.如权利要求6所述的板材蚀刻处理设备,其特征在于,该上喷射管设置于该上滚轮组的上方,该下喷射管设置于下滚轮组之下方。

10.如权利要求6所述的板材蚀刻处理设备,其特征在于,该上喷射管平行间隔设置于该上杆体之间,该下喷射管平行间隔设置于该下杆体之间。

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