[实用新型]一种掩膜版传递和检查夹具

说明书

技术领域

本实用新型属于传递和检查夹具技术领域，尤其涉及一种掩膜版传递和检查夹具。

背景技术

掩膜版是掩膜行业内的一种光罩，它可以将图形转移到晶圆上，由于这种工艺对掩膜版的表面洁净度和缺陷要求很高，这就给掩膜版的清洗和检查造成了很大的难度。在一般掩膜版的生产过程中，人手必须接触到掩膜版才可进行传递，传递时手就会污染掩膜版；同时，掩膜版表面会贴一层保护膜，当掩膜版在仪器上检查时容易把此保护膜弄破。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩膜版传递和检查夹具，旨在解决现有技术中的掩膜版在传递时易受到手的污染和在检查时易损坏其表面的保护膜的问题。

本实用新型是这样实现的，一种掩膜版传递和检查夹具，其包括一框架、若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所述支撑件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一对边中部分别向外设有一把手，所述把手和框架之间通过连接件连接。

在传递时手握住把手，不会接触到掩膜版，避免了手对掩膜版的污染；掩膜版在仪器上检查时，在大小塑料销钉的作用下，可以保证掩膜版上的保护膜不被损坏。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具的方形框架的示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具的支撑件的示意图；

图3是本实用新型实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具的定位件的示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参阅图1所示，本实用新型实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具，包括一方形框架1、若干个支撑件6和定位件7，所述支撑件6可选用小塑料销钉，定位件7可选用大塑料销钉。所述方形框架1由硬铝制成，其一对边中部各向外设有一把手5，所述把手5与方形框架1之间通过连接件连接，比如螺钉；所述方形框架1的四边中部及四角分别开设有一小孔3和两相同的大孔2，所述两大孔2对称设于小孔3的两侧，所述小孔3和支撑件6配合，所述大孔2和定位件7配合，可使支撑件6和定位件7固定在方形框架1上，其中所述支撑件6的高度小于定位件7的高度；所述支撑件6的用来支撑掩膜版，所述定位件7用来限定掩膜版的位置和外形尺寸。

在传递时，手握住把手5，不会接触到掩膜版，避免了手对掩膜版的污染；掩膜版在仪器上检查时，由于掩膜版放置在支撑件6上，而定位件7高于支撑件6，这样可以保证掩膜版上的保护膜在检查时不被损坏。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。