[实用新型]一种掩膜版传递和检查夹具有效
| 申请号： | 200820147155.8 | 申请日： | 2008-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN201273985Y | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 荆学军 | 申请（专利权）人： | 清溢精密光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 传递 检查 夹具 | ||
【权利要求书】：
1、一种掩膜版传递和检查夹具，包括一框架，其特征在于：还包括若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所述支撑件的高度小于所述定位件的高度。
2、如权利要求1所述的一种掩膜版传递和检查夹具，其特征在于：所述支撑件由开设于框架周边中部及四角的小孔分别固定，所述定位件由分别设置于所述小孔两侧的大孔固定。
3、如权利要求2所述的一种掩膜版传递和检查夹具，其特征在于：所述框架的一对边中部各向外设有一把手，所述把手和框架之间通过连接件连接。
4、如权利要求3所述的一种掩膜版传递和检查夹具，其特征在于：所述框架为方形，由硬铝制成。
5、如权利要求1或2所述的一种掩膜版传递和检查夹具，其特征在于：所述支撑件为小塑料销钉。
6、如权利要求1或2所述的一种掩膜版传递和检查夹具，其特征在于：所述定位件为大塑料销钉。
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