[实用新型]多通道声表面波化学传感装置

权利要求书

1、一种多通道声表面波化学传感装置，其特征在于，包括有多通道声表面波化学传感器和混频电路、振荡电路，其中，

所述多通道声表面波化学传感器通过在多通道声表面波传感器上的每个检测通道上贴附不同的敏感薄膜而构成，所述多通道声表面波传感器以压电晶体作为声表面波传感器的基底，其上具有多个检测通道和一个参考通道，该基底上制作有多对并行的阵列叉指换能器，每对叉指换能器包括输入换能器和输出换能器，分别用于构成延迟线型和谐振型声表面波器件；

所述混频电路用于获得每个检测通道与参考通道之间的差频信号；

所述振荡电路，用于驱动叉指换能器产生固定频率的振荡，作为多通道声表面波化学传感器的中心工作频率。

2、如权利要求1所述的多通道声表面波化学传感装置，其特征在于，所述声表面波传感器的基底为YZ切铌酸锂LiNbO₃晶体或石英晶体。

3、如权利要求1所述的多通道声表面波化学传感装置，其特征在于，所述多通道声表面波化学传感器通过在多通道声表面波传感器上的每个检测通道上用涂敷或蒸镀或沉积的方法来贴附不同的特定敏感薄膜而构成。

4、如权利要求1所述的多通道声表面波化学传感装置，其特征在于，在基底上制成叉指换能器的方法为半导体集成电路平面工艺。

5、如权利要求1所述的多通道声表面波化学传感装置，其特征在于，延迟型声表面波传感器的中心工作频率为100MHz，谐振型声表面波传感器的中心工作频率为148MHz。

6、如权利要求1所述的多通道声表面波化学传感装置，其特征在于，所述敏感薄膜为在石英基底上镀厚度为1.2μm的氧化锌，再镀厚度为40-200nm的合适配比的氧化铟和氧化锡。

7、如权利要求1所述的多通道声表面波化学传感装置，其特征在于，还包括与混频电路相连接的整形电路，该整形电路用于将由混频电路所检测得到的检测通道与参考通道之间的差频信号进行整形，形成一个与差频信号同频的方波信号。

8、如权利要求7所述的多通道声表面波化学传感装置，其特征在于，所述整形电路的信号输出端连接有计数器，该计数器用于记录经过整形电路进行整形所输出的方波数目。