[实用新型]溅镀机的冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种溅镀机的冷却装置。

背景技术

现有溅镀机的结构主要包含有：一溅镀源，该溅镀源以离子溅射原理，先利用电场使两极间产生电子，这些加速电子会与真空腔中已预先充入的惰性气体碰撞，使其带正电，这些带正电的粒子会受阴极(靶材)吸引而撞击阴极，入射离子受到电场作用获得动量，撞击靶材表面的原子，这些原子受到正电离子的碰撞得到入射离子的动量转移，被撞击的靶材表面原子因接受入射离子的动量，对靶材表面下原子造成挤压使其发生移位，此靶材表面下多层原子挤压，会发生垂直靶材表面的作用力而把表面原子碰撞出去，这些被碰撞出去的原子，最后终于沉积在被镀物上完成溅镀；一防着板结构，该防着板结构设于导轨结构两侧，防着板结构防止原子沉积于置物板以外之机台其他位置；一导轨结构，该导轨结构设于输送带结构的两侧以导引置物板移动方向；一输送带结构，该输送带结构输送置物板经过溅镀源；若干置物板，提供被镀物放置；通过上述结构，被镀物置于置物板，再将置物板置于输送带结构，经导轨结构导引而经过溅镀源完成溅镀。

但是上述现有的溅镀机仍存在有下列缺点：1、溅镀源的溅镀过程会产生发热，而真空腔会有热累积的问题，现有的溅镀机只能利用金属材质机台自然导热散热，但过程相当缓慢，造成温度居高不下，影响被镀物因过高温度产生变形等问题，造成不良品增加；2、因为被镀物无法耐高温，所以现有的做法就是加快输送带的速度，以减短被镀物在高温环境的时间，但短时间并不能溅镀完全，所以增加溅镀机制程使溅镀完成，但如此不但机台成本增加，制程也变长，需要较大的场所才能摆设。所以针对上述现有结构所存在的问题，如何开发一种更具理想实用性的创新结构实为消费者所殷切期盼，也是相关业者须努力研发突破之目标及方向。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种溅镀机的冷却装置，以克服现有的溅镀机其制程过程中会产生发热，且真空腔会有热积累的问题，自然散热速度也过慢，而被镀物为无法耐高温的材制(如塑料)，所以被镀物在高温溅镀过程容易变形，而如果加快制程速度，则制程之长度就需要增长，设备也要增加，场地也需要配合增加的不足。

实现本实用新型的目的的技术方案如下：

一种溅镀机的冷却装置，包含有：一溅镀源、一防着板结构、一输送带结构及若干置物板，该防着板结构设于输送带结构两侧；该防着板结构及/或输送带结构的异于溅镀区方向的表面锁设有可拆离的冷却装置，所述冷却装置包含有一控制结构。

所述冷却装置为水冷循环式冷却装置、液冷循环式冷却装置或热管冷却装置；所述控制结构为泵浦装置、压缩机装置或风扇装置。

优选地，所述防着板结构包含有至少二个防着板，所述二个防着板锁设在溅镀机的输送带结构两侧，所述冷却装置锁设于所述二个防着板的异于溅镀区方向的表面；所述输送带结构包含有一区隔板，所述冷却装置装设于区隔板的异于溅镀区方向的表面。

本实用新型的有益效果为：强制冷却并可控制冷却效率，所以被镀物不致有因高温产生变形的情形，良率提升；控制降低溅镀发热，所以制程速度减缓，溅镀符合要求，制程也可以缩短。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1是本实用新型的溅镀机的剖面示意图；

图2是本实用新型的防着板锁设冷却装置的立体示意图；

图3是本实用新型的溅镀机平面示意图；

图4是本实用新型的溅镀机流程示意图。

图中：20、溅镀源；21、防着板；211、防着板表面；23、输送带结构231、输送轮；232、区隔板；233、表面；24、置物板；25、被镀物；26、溅镀区；31、输入装置；32、清洁装置；33、第一缓冲装置；34、溅镀装置；35、第二缓冲装置；36、输出装置；40、冷却装置；41、冷却装置；50、控制结构。

具体实施方式、