[实用新型]溅镀机的冷却装置无效
| 申请号： | 200820135887.5 | 申请日： | 2008-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN201301338Y | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 刘辛 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅镀机 冷却 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种溅镀机的冷却装置，包含有：一溅镀源、一防着板结构、一输送带结构及若干置物板，该防着板结构设于输送带结构两侧；其特征在于：该防着板结构及/或输送带结构的异于溅镀区方向的表面锁设有可拆离的冷却装置，所述冷却装置包含有一控制结构。
2、如权利要求1所述的溅镀机的冷却装置，其特征在于：所述冷却装置为水冷循环式冷却装置、液冷循环式冷却装置或热管冷却装置。
3、如权利要求1所述的溅镀机的冷却装置，其特征在于：所述控制结构为泵浦装置、压缩机装置或风扇装置。
4、如权利要求1-3任一项所述的溅镀机的冷却装置，其特征在于：所述防着板结构包含有至少二个防着板，所述二个防着板锁设在溅镀机的输送带结构两侧，所述冷却装置锁设于所述二个防着板的异于溅镀区方向的表面。
5、如权利要求1-3任一项所述的溅镀机的冷却装置，其特征在于：所述输送带结构包含有一区隔板，所述冷却装置装设于区隔板的异于溅镀区方向的表面。
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