[实用新型]300mm立式氧化炉炉体有效
| 申请号: | 200820124688.4 | 申请日: | 2008-12-17 |
| 公开(公告)号: | CN201382675Y | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
| 发明(设计)人: | 钟华;盛金龙;程朝阳;胡星强;艾伦·埃马米 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号: | F27B1/00 | 分类号: | F27B1/00;F27B1/10 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 100016*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 300 mm 立式 氧化 炉炉体 | ||
1、一种300mm立式氧化炉炉体,设有主体、顶盖、基座,其特征在于:所述主体为一直立圆筒形,由内到外依次设有炉丝(8)、炉丝支撑件(7)、保温棉层(6)、内壁(3)、冷却管(4)、外壁(5),所述炉丝在主体内由上到下多圈环绕,由炉丝支撑件支撑固定,保温棉层设置在内壁内侧,在内壁和外壁之间设置上下迂廻弯曲的冷却管;冷却管设有冷却水进出水口(15);设有多个热电偶(11)、炉丝引线(12)穿过保温层、内壁、外壁,横向固定在内壁上,热电偶里端到达测温位置,炉丝引线里端焊接在炉丝上;在主体上口沿设有环形顶块(2),该顶块中间设有顶盖(1),在主体的下口设有环形底块(9),所述顶盖、顶块、保温棉、底块组成保温层,该保温层通过顶块和底块固定在内壁上;冷却管和外壁也固定在内壁上,外壁将冷却管包覆起来;内壁固定在基座(10)上,该基座上设有冷却密封槽(14)和进出水口(13)。
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