[实用新型]取向膜预固化装置有效
| 申请号: | 200820110061.3 | 申请日: | 2008-08-18 |
| 公开(公告)号: | CN201293896Y | 公开(公告)日: | 2009-08-19 |
| 发明(设计)人: | 宋勇志;王煦 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
| 代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人: | 申 健 |
| 地址: | 100176北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 取向 固化 装置 | ||
1、一种取向膜预固化装置,包括:放置基板的加热台,设置于所述基板上方的第一排气装置,设置于所述基板两侧且平行于所述第一排气装置的第一气体吸收装置,其特征在于,所述第一排气装置为柱状排气装置,所述排气嘴设置于所述柱状排气装置的下方,并指向所述基板。
2、如权利要求1所述的取向膜预固化装置,其特征在于,所述柱状的排气装置位于所述基板的长轴中心线或短轴中心线的正上方。
3、如权利要求1所述的取向膜预固化装置,其特征在于,所述排气嘴包括第一排气嘴和第二排气嘴,所述第一排气嘴和第二排气嘴交叉布置,且所述第一排气嘴和第二排气嘴所指方向分别向两侧偏离所述基板的法线方向。
4、如权利要求3所述的取向膜预固化装置,其特征在于,所述两部分排气嘴与所述基板的法线方向的夹角范围为5°~15°。
5.如权利要求3所述的取向膜预固化装置,其特征在于,所述第一排气装置设有流量控制阀。
6.如权利要求3所述的取向膜预固化装置,其特征在于,所述第一排气装置设有气体预加热装置。
7.如权利要求3所述的取向膜预固化装置,其特征在于,所述第一气体吸收装置设有负压调节装置。
8、如权利要求1至7任一所述的取向膜预固化装置,其特征在于,还包括:
第二排气装置,所述第二排气装置为柱状排气装置,设置于所述基板一侧的上方,且垂直于所述第一排气装置,所述第二排气装置上的排气嘴朝向所述基板;
第二气体吸收装置,设置于所述基板的另一侧。
9、如权利要求8所述的取向膜预固化装置,其特征在于,所述第二排气装置上的排气嘴与所述基板法线方向的夹角范围为5°~20°。
10、如权利要求8所述的取向膜预固化装置,其特征在于,所述第二排气装置设有流量控制阀。
11、如权利要求8所述的取向膜预固化装置,其特征在于,所述第二排气装置设有气体预加热装置。
12、如权利要求8所述的取向膜预固化装置,其特征在于,所述第二气体吸收装置设有负压调节装置。
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