[实用新型]一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器

说明书

技术领域

本实用新型是关于真空设备领域中的加热器，具体涉及一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器。

背景技术

用于科研、工业生产的生长氧化物薄膜和金属薄膜的真空设备，在国际上已经很普及，在我们国内也有一些厂家生产制备此类设备。为了能生长出高品质的薄膜，在真空设备中设计一套适合于薄膜生长的加热器是关键。目前真空设备通常只配备普通的电加热器，由于该电加热器有杂质挥发、加热温度不稳定、加热过程时间长等问题，制备的氧化物薄膜或金属薄膜存在质量差的缺陷。

实用新型内容

本实用新型克服了现有加热器的不足，提供了一种适合于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器。

本实用新型的技术方案是：

一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，其特征在于，包括两块耐高温不锈钢板和一根超细电阻加热丝，两块耐高温不锈钢板上下叠放，固定在一起，所述超细电阻加热丝均匀排放在上述耐高温不锈钢板之间的缝隙里。

所述耐高温不锈钢板的厚度范围可为1.5mm—2.5mm。

所述超细电阻加热丝的电阻值的范围可为4欧姆—6欧姆。

在耐高温不锈钢板的外表面上焊接一热电偶接点。

进一步，还可包括一防散热盒，由盒盖和盒体组成，上述用于制备氧化物薄膜的加热器放置在上述防散热盒中，在所述盒盖上开有用于生长氧化物薄膜的孔。

进一步，还可包括一与真空设备活动连接的不锈钢固定支架，所述不锈钢固定支架包括一支架座，所述防散热盒的盒体底部固定在所述支架座上。

所述不锈钢固定支架还包括四个与支架座连接的支撑腿，用于调整支架座的位置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、由于采用超细电阻加热丝，本实用新型克服了普通加热器的高温状态有挥发物的缺陷，且输入电功率低，升温速度快，五分钟之内可以稳定于820℃；

2、加热器耐用、寿命长，可以使用1000小时以上(一般加热器只能用200个小时左右)；

3、选用的耐高温不锈钢板耐高温在1200度以上，远高于普通的工作温度，且加热均匀，因此，采用本实用新型加热器制备高品质的薄膜成品率高。

4、在结构上增加一防散热盒体，将超细电阻加热丝和耐高温不锈钢加热板整体封闭，使得加热器系统温度稳定性高且容易控制。

附图说明

图1为本实用新型加热器的结构示意图；

图2为本实用新型加热器的防散热盒盖的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

参考图1，本实用新型用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器选用2片2毫米厚的镍25铬20耐高温不锈钢板，以及一根具有防氧化的超细电阻加热丝3(电阻加热丝规格型号为Thermocoax SEI 15/100，R：5.62ohm)。为使耐高温不锈钢板有效面积加热均匀，超细电阻加热丝3以蝶状形式均匀排放于耐高温不锈钢板1和耐高温不锈钢板2之间，将两片耐高温不锈钢板用不锈钢螺钉夹紧。

且为了保证温度测量的真实准确性，镍硌镍铝热电偶接点4焊在耐高温不锈钢板1的外表面，与耐高温不锈钢板1成为一体。

另外，为了防止加热板高温状态散热，采用一由盒盖9和盒体5构成的防散热盒，加热器放置在防散热盒体5中，防散热盒体5将加热器封闭；在盒盖9上开有一孔10，透过该孔10，采用溅射、激光辐照等方式生长氧化物薄膜或金属薄膜。

此外，将封闭加热器的防散热盒体5置于一不锈钢支架7上，该不锈钢支架包括支架座6和四个固定支撑腿8，防散热盒的盒体5底部固定在支架座6上，支架座6可连接四个支撑腿8，支撑腿8的高度可调节、且可沿横向和纵向方向移动，该不锈钢支架7与真空设备活动连接，从而实现本实用新型固定于真空设备中。

本实用新型加热器的耐高温不锈钢板的厚度可为1.5mm—2.5mm，超细电阻加热丝的电阻值可为4欧姆—6欧姆。

以上通过详细实施例描述了本实用新型所提供的用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，本领域的技术人员应当理解，在不脱离本发明创造实质的范围内，可以对本实用新型做一定的变形或修改。