[实用新型]一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器

权利要求书

1、一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，其特征在于，包括两块耐高温不锈钢板和一根超细电阻加热丝，两块耐高温不锈钢板上下叠放，固定在一起，所述超细电阻加热丝均匀排放在上述耐高温不锈钢板之间的缝隙里。

2、如权利要求1所述的用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，其特征在于，所述耐高温不锈钢板的厚度范围为1.5mm—2.5mm。

3、如权利要求1或2所述的用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，其特征在于，所述超细电阻加热丝的电阻值的范围为4欧姆—6欧姆。

4、如权利要求1所述的用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，其特征在于，在所述耐高温不锈钢板的外表面上焊接一热电偶接点。

5、如权利要求1所述的用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，其特征在于，还包括一防散热盒，由盒盖或盒体组成，所述加热器放置在所述防散热盒中，在所述盒盖上开有一孔。

6、如权利要求5所述的用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，其特征在于，还包括一与真空设备活动连接的不锈钢固定支架，所述不锈钢固定支架包括一支架座，所述防散热盒的盒体底部固定在所述支架座上。

7、如权利要求6所述的用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，其特征在于，所述不锈钢固定支架还包括四个与支架座连接的支撑腿，用于调整支架座的位置。