[实用新型]具有吹嘴的汲取装置及具有该汲取装置的处理机台

说明书

技术领域

本实用新型是涉及一种处理机台，尤其是一种具有吹嘴的汲取装置及具有该装置的处理机台。

背景技术

太阳能具有取的不竭、绿色环保、实用性高等特性，如今原油价格不断升高，替代性能源需求显著提升，无污染的太阳能更成为能源界明日的星。应用于太阳能光电转换过程中的太阳能晶圆，则担负吸收、撷取太阳光、并转换为电能的重责大任。当然，太阳能晶圆于出厂前，必需进行相关测试与分类、包装，但如图1所示，由于此种片状待测物如太阳能晶圆40极为轻薄脆弱，故其检测过程需小心处理，此处所示晶圆40具有两待测面，需分别检测。

如图2所示，现有技术中，为避免磨损该晶圆40，其中的汲取装置13是利用一组汲取器(图中标识为吸嘴131)，吸取置于一组承载装置14中的最上方晶圆40的上表面，并移动至检测位置以检测下表面后，随后将该太阳能晶圆40下表面放置于一组处理装置15上，再检测该晶圆40的上表面。

该等晶圆40重量极轻，叠置时，相互接触面积极大，因为晶圆间的空气被排开，且该等晶圆40的表面相当平滑，如图3所示，一旦由上方吸取最上层晶圆，往往因大气压力，使下方非预定晶圆40’随之一起被取出，一并脱离原本的迭层，随后空气逐渐进入晶圆40、40’间的空隙，下方晶圆40’将随处掉落，不仅会因摔落而破损或产生肉眼不易判别的微裂(micro-crack)，更可能因机台中出现此意外掉落物而需停机。倘若没有迅速掉落，下方晶圆40’又将随吸嘴131移动至预定检测位置，完全遮蔽上方晶圆40的受测。

因此，需要提供一种技术方案，能够确保此片状待测物汲取过程中，每次均仅能单独汲取一片待测物，降低不必要的损坏率、提升检测流程顺畅度、减少误检测的可能，提升业者的检测效率与质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有吹嘴的汲取装置及具有该汲取装置的处理机台，旨在解决现有技术中存在的片状待测物检测时与叠置的另一非预期片状待测物粘贴的问题。

本实用新型是这样实现的，一种具有吹嘴的汲取装置，所述的汲取装置设置于一种片状待测物处理机台，所述处理机台包括承载装置和处理装置，其中所述片状待测物被叠置于所述承载装置，供所述汲取装置每次单独汲取一片目标待测物至所述处理装置，所述汲取装置包括汲取器和驱动器；所述的汲取装置还包括供所述汲取器从所述承载装置汲取所述待测物时，向待测物吹风、剥离附着于所述目标待测物下方的另一片待测物的吹嘴。

所述驱动器为驱动所述汲取器在一个对应所述承载装置的汲取位置及一个对应所述处理装置的释放位置间旋转的枢轴。

所述驱动器为驱动所述汲取器在一个对应所述承载装置的汲取位置及一个对应所述处理装置的释放位置间移动的机械臂。

所述处理机台还包括提供所述汲取器汲取所述待测物气压的气压变换装置，所述汲取器与所述气压变换装置连接。

本发明还提供了一种片状待测物处理机台，所述处理机台包括承载装置、处理装置和汲取装置；所述汲取装置包括汲取器和驱动器；所述的汲取器还包括供所述汲取器从所述承载装置汲取所述待测物时，向待测物吹风、剥离附着于所述目标待测物下方的另一片待测物的吹嘴。

所述处理装置为输送器，所述处理机台还包括与所述输送器对应、检测所述片状待测物的检测装置以及根据所述检测装置的检测结果，分类所述待测物的分类装置。

还包括连接所述吹嘴的供气装置。

所述承载装置设置于一个供料装置中，所述供料装置具有供容纳复数承载装置的容置空间以及搬移所述承载装置的搬移器。

所述片状待测物为太阳能晶圆，所述吹嘴设置为与所述太阳能晶圆叠置方向夹一角度，朝向所述太阳能晶圆。

所述承载装置中叠置的片状待测物为太阳能晶圆，所述吹嘴设置为与叠置方向平行。

本实用新型克服现有技术的不足，通过具有吹嘴的汲取装置，减少下方待测物非预期跟随上方目标待测物被汲取的问题，不仅降低下方待测物摔落损坏或产生微裂而使优良率降低的风险，更同时解决因误动作摔落的待测物干扰机台正常运作，导致需停机处理而减缓处理效率的可能性，确保每次汲取动作汲取预定单一待测物，大幅提升处理机台的效率与质量，增进使用厂商的竞争力。

附图说明

图1是现有的太阳能晶圆的外观立体示意图；

图2是现有技术中汲取装置汲取两片太阳能晶圆的侧视示意图；

图3是现有技术中两片迭合太阳能晶圆放大后的侧视示意图；

图4是本实用新型第一实施例提供的具有汲取装置的机台立体示意图；