[实用新型]具有吹嘴的汲取装置及具有该汲取装置的处理机台

权利要求书

1、一种具有吹嘴的汲取装置，所述的汲取装置设置于一种片状待测物处理机台，所述处理机台包括承载装置和处理装置，其中所述片状待测物被叠置于所述承载装置，供所述汲取装置每次单独汲取一片目标待测物至所述处理装置，所述汲取装置包括汲取器和驱动器；其特征在于，所述的汲取装置还包括供所述汲取器从所述承载装置汲取所述待测物时，向待测物吹风、剥离附着于所述目标待测物下方的另一片待测物的吹嘴。

2、根据权利要求1所述的汲取装置，其特征在于，所述驱动器为驱动所述汲取器在一个对应所述承载装置的汲取位置及一个对应所述处理装置的释放位置间旋转的枢轴。

3、根据权利要求1所述的汲取装置，其特征在于，所述驱动器为驱动所述汲取器在一个对应所述承载装置的汲取位置及一个对应所述处理装置的释放位置间移动的机械臂。

4、根据权利要求1或者2或者3所述的汲取装置，其特征在于，所述处理机台还包括提供所述汲取器汲取所述待测物气压的气压变换装置，所述汲取器与所述气压变换装置连接。

5、一种片状待测物处理机台，所述处理机台包括承载装置、处理装置和汲取装置；所述汲取装置包括汲取器和驱动器；其特征在于，所述的汲取器还包括供所述汲取器从所述承载装置汲取所述待测物时，向待测物吹风、剥离附着于所述目标待测物下方的另一片待测物的吹嘴。

6、根据权利要求5所述的处理机台，其特征在于，所述处理装置为输送器，所述处理机台还包括与所述输送器对应、检测所述片状待测物的检测装置以及根据所述检测装置的检测结果，分类所述待测物的分类装置。

7、根据权利要求5所述的处理机台，其特征在于，还包括连接所述吹嘴的供气装置。

8、根据权利要求5所述的处理机台，其特征在于，所述承载装置设置于一个供料装置中，所述供料装置具有供容纳复数承载装置的容置空间以及搬移所述承载装置的搬移器。

9、根据权利要求5或者6或者7或者8所述的处理机台，其特征在于，所述片状待测物为太阳能晶圆，所述吹嘴设置为与所述太阳能晶圆叠置方向夹一角度，朝向所述太阳能晶圆。

10、根据权利要求5或者6或者7或者8所述的处理机台，其特征在于，所述承载装置中叠置的片状待测物为太阳能晶圆，所述吹嘴设置为与叠置方向平行。