[实用新型]丢失芯片的检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种丢失芯片的检测装置，特别是一种用于粘片机上丢失芯片的检测装置。

背景技术

在半导体制造中，在完成晶圆器件的制作和切割之后，粘片机的键合头从被切割的晶圆上拾取被切割好的单个芯片，并将其放置到引线框架或封装衬底(或基座)条带上的键合位置处，以进行进一步的处理。

吸头在拾取芯片后，芯片很可能在从拾取位置到键合位置快速运行过程中脱落。为了避免在生产单元产生的芯片丢失，因此在芯片放置前需检测吸头上是否有芯片。如果吸头上有芯片，则按正常流程在键合位置放置芯片；如果吸头上无芯片，表明芯片已丢失，吸头需返回到拾取位置重新拾取芯片。

目前在国内生产线上使用的粘片机，其芯片丢失的检测装置大多是基于光敏检测理论设计的。公知的检测系统通常使用光源和光敏感元件，光源和光敏感元件排列和放置在被测物体的相对两侧，如待检测芯片位置的两侧，该位置处物体的存在干扰了狭窄光束从光源到光敏感元件的传输。如果光敏感元件检测到从光源发出的光线，则说明在该指定位置不存在被检测物体。反之，如果光敏感元件没有检测到从光源发出的光线，则说明在该指定位置存在被检测物体。但是，这些公知的检测系统在透明甚至部分透明物体的情况下，检测效果不好，即使在这些物体存在的时候，光线也能穿越这些物体传输，光敏感元件仍然可以接收到相对强的信号。另外，基于光敏检测理论的检测方法，必须在从拾片到放片的中间过程检测，丢片时，就会空运行一个从拾片到放片的循环，势必浪费了循环时间，设备的运行效率降低。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种丢失芯片的检测装置，该装置可提高丢失芯片的检测可靠性，并可提高与之配套使用的设备的运行效率。

本实用新型实现上述目的所采取的技术方案如下：

一种丢失芯片的检测装置，它包括拾片头座、管接头、焊臂、吸头和真空管路，所说吸头固定在拾片头座和焊臂上，密封圈设置于吸头和拾片头座之间的密封槽内，吸头中间具有气体通道，拾片头座有与吸头的气体通道相连的气孔，真空管路的管道通过管接头旋紧在拾片头座上，并与拾片头座的气孔相通，真空管路包括真空泵、流量传感器和电磁阀。

上述丢失芯片的检测装置，所说电磁阀为二位三通电磁阀，真空管路还串接有真空储气罐，且真空储气罐设置于真空泵与流量传感器之间的管路上。

上述丢失芯片的检测装置，所说拾片头座和焊臂均有供紧固连接的切槽，切槽设置紧固螺钉。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

(1)相对于常用的光敏检测装置，采用本检测装置不再受透明或部分透明物体的光线干扰，提高了检测效果的可靠性；

(2)在芯片的拾取位便可检测，减少了设备的空运行循环，提高了设备的运行效率。

本实用新型适用于半导体后工序粘片机设备上，用于检测吸头在放置位处有无丢失芯片。

附图说明

图1为用于检测丢失芯片的检测装置；

图2为用于检测丢失芯片的真空管路图。

在附图中：1拾片头座、2管接头、3密封圈、4焊臂、5吸头、6芯片、21真空管路、22真空泵、23真空储气罐、24流量传感器、25二位三通电磁阀。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型做进一步的详细阐述：

参见附图，本实用新型所提供的丢失芯片的检测装置，包括拾片头座1、管接头2、密封圈3、焊臂4、吸头5和真空管路21。吸头5通过螺钉固定在拾片头座1和焊臂4上，拾片头座1和焊臂4上都设计有切槽，以利于金属的变形，将吸头5固定。整个装置都随焊臂4从芯片6拾取位到放置位运动而运动。吸头5将密封圈3挤压在拾片头座1的密封槽内，防止吸头在拾放片过程中漏气；吸头5中间具有气体通道，拾片头座1具有与上述气体通道相连的气孔，真空管路的管道通过管接头2旋紧在拾片头座1上，并与拾片头座1的上述气孔相通。

真空管路21由真空泵22、真空储气罐23、流量传感器24和二位三通电磁阀25顺序通过管路连接构成，真空泵22提供真空气源，真空储气罐23用于维持整个真空气路的真空压力为恒定值，用来弥补拾放片过程中释放的真空，流量传感器24的输出电压正比于流过内部传感元件的气体流量，通过输出电压的变化可判断流过流量传感器24的气体流量，以此来判断吸头处有无芯片。

本实用新型的流量传感器24，基于气体流过传感元件的热传导原理，传感器的输出电压正比于内部传感元件的进出口气体流量。传感器采用最新的微结构技术，内含一块精密的热微桥测温单元，单元中含发热控制电路、热微桥测温电路及差分放大电路，桥电路对流过芯片的气流快速、灵敏的响应，发热体两侧的敏感元件还能感测气体流过的方向，激光修正的厚膜电路及薄膜电阻保证了每个元件的一致性。当吸头处有芯片时，流过流量传感器24的气体流量变小，其输出电压值也随之变小，则焊臂4便按正常流程从芯片拾取位向芯片放置位运动，并将芯片放置到键合位；当吸头处无芯片时，流过流量传感器24的气体流量增大，其输出电压值也随之变大，则吸头需返回到芯片拾取位，重新拾取芯片。