[实用新型]蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石晶圆棒加工领域。

背景技术

现有的蓝宝石晶圆棒定向加工技术中，先将晶体置于定向仪上读出晶体的实际晶向后，再将晶体取下放置到粘料仪上，在将晶体实际晶向和理论晶向的偏差角度在专用的粘结仪修正后进行晶体粘结，粘结完成后再送晶体加工。但该技术晶圆棒定向和粘结是分开进行的，造成其定向精度不高，且需要的设备较多，工艺环节较复杂，测量、修正耗费时间长。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、定位速度快、定位精度高的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置。

本实用新型的目的是通过实施下述技术方案來实现的：

一种蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于：包括晶圆棒C向定向装置，所述C向定向装置包括固定基座，所述固定基座的上部设置移动基座，固定基座和移动基座的一端对应设置通孔，在固定基座的另一端设置使移动基座水平移动的机构；螺母移动基座上还设置定位孔，定位孔内设置定位杆；移动基座上固连有支撑座，支撑座上套接旋转辊，旋转辊与手动或电动旋转驱动机构相连；移动基座上还设置有支撑板，支撑板上设置晶圆棒紧固装置。

所述水平移动机构包括分别设置在固定基座两侧的安装板，安装板上部设置有螺杆和与之螺纹连接的移动螺母，螺杆的另一端与移动基座相对应。

所述旋转辊的旋转驱动机构包括与旋转辊固连的螺杆和与之螺纹连接的旋转螺母。

所述支撑板上设置的紧固装置包括紧固螺母和与之螺纹连接的螺杆。

所述装置还包括晶圆棒A向定向装置，所述A向定向装置包括固定基座，所述固定基座的内腔设置与旋转驱动机构相连的旋转工作台，旋转工作台上部设置与固定基座固连的定位座，定位座的通孔与下部的旋转工作台相对应，通孔一侧设置定位装置，另一侧设置晶圆棒紧固装置。

所述定位座的通孔上设置的定位装置为定位辊。

所述定位座的通孔上设置的紧固装置包括螺杆和与之螺纹连接的紧固螺母，所述螺杆从定位座的外侧伸入定位座的通孔中。

采用以上结构的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，将其安装在定向仪上，定向仪的旋转轴伸入固定基座和移动基座的通孔内，将待定向晶圆棒放置在旋转轴上，并用定位杆定位，通过旋转、左右摆动晶圆棒找到晶向，将晶圆棒夹紧后用粘接装置将晶圆棒粘接在加工用工装上进行加工。采用本装置，确保加工时的晶向与在定向装置上找到的晶向一致，定向精度高，生产效率和产品质量都得到大幅度提高，同时减少了专用粘接仪，节省了大量的设备投资，降低了成本。

附图说明

图1是本实用新型晶圆棒C向定向装置主视图。

图2是本实用新型晶圆棒A向定向装置主视图。

图3是图2的俯视图。

图中标记：1、C向定向装置的固定基座 2、移动基座 3、移动螺母 4、旋转螺母 5、旋转辊 6、紧固螺母 7、晶圆棒 8、定位杆 9、旋转轴 10、A向定向装置的固定基座 11、旋转工作台 12、旋转手柄 13、定位座 14、紧固螺母 15、定位辊

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。