[实用新型]蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置

权利要求书

1、一种蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于：包括晶圆棒C向定向装置，所述C向定向装置包括固定基座，所述固定基座的上部设置移动基座，固定基座和移动基座的一端对应设置通孔，在固定基座的另一端设置使移动基座水平移动的机构；螺母移动基座上还设置定位孔，定位孔内设置定位杆；移动基座上固连有支撑座，支撑座上套接旋转辊，旋转辊与手动或电动旋转驱动机构相连；移动基座上还设置有支撑板，支撑板上设置晶圆棒紧固装置。

2、如权利要求1所述的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于：所述水平移动机构包括分别设置在固定基座两侧的安装板，安装板上部设置有螺杆和与之螺纹连接的移动螺母，螺杆的另一端与移动基座相对应。

3、如权利要求1所述的蓝蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于：所述旋转辊的旋转驱动机构包括与旋转辊固连的螺杆和与之螺纹连接的旋转螺母。

4、如权利要求1所述的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于：所述支撑板上设置的紧固装置包括紧固螺母和与之螺纹连接的螺杆。

5、如权利要求1、2、3或4所述的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于：还包括晶圆棒A向定向装置，所述A向定向装置包括固定基座，所述固定基座的内腔设置与旋转驱动机构相连的旋转工作台，旋转工作台上部设置与固定基座固连的定位座，定位座的通孔与下部的旋转工作台相对应，通孔一侧设置定位装置，另一侧设置晶圆棒紧固装置。

6、如权利要求5所述的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于：所述定位装置为定位辊。

7、如权利要求6所述的蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于：所述紧固装置包括螺杆和与之螺纹连接的紧固螺母，所述螺杆从定位座的外侧伸入定位座的通孔中。