[实用新型]一种低倍组织热酸蚀装置

权利要求书

1.一种低倍组织热酸蚀装置，该装置包括控制器(1)、酸蚀器(2)，所述的控制器(1)由计算机和可控硅组成，所述的酸蚀器(2)包括酸蚀槽(3)、样品框(4)、温度传感器(5)、接地棒(6)、酸蚀槽上盖(7)，其特征在于，所述的酸蚀器还包括电加热器(8)、保护板(9)、多层样品层板(10)，安装固定板(11)，所述的电加热器(8)设置于酸蚀槽(3)底部，所述的保护板(9)呈L形，置于电加热器(8)上方，样品框(4)置于保护板(9)上，样品框(4)上放置多层样品层板(10)，所述的安装固定板(11)设置在酸蚀槽(3)一侧面，温度传感器(5)、接地棒(6)和电加热器(8)均固定在安装固定板(11)上，所述的控制器(1)和酸蚀器(2)分开放置，温度传感器(5)、接地棒(6)和电加热器(8)分别用长导线经安装固定板(11)上的孔穿出与控制器(1)连接，酸蚀槽上盖(7)与酸蚀槽密封连接。

2.根据权利要求1所述的低倍组织热酸蚀装置，其特征在于，所述的电加热器(8)由电热丝(81)，电热丝外包铁管(82)以及铁管外包聚四氟乙烯管(83)组成。

3.根据权利要求1或2所述的低倍组织热酸蚀装置，其特征在于，所述的电加热器(8)蛇形弯曲均匀平铺于酸蚀槽底部。

4.根据权利要求1所述的低倍组织热酸蚀装置，其特征在于，所述的保护板(9)通过其底部支架与酸蚀槽(3)底部接触相连，保护板的底板和侧面大小与酸蚀槽(3)相匹配，温度传感器(5)、接地棒(6)、电加热器(8)和安装固定板(11)位于酸蚀槽(3)和保护板(9)之间。

5.根据权利要求1或4所述的低倍组织热酸蚀装置，其特征在于，所述的保护板(9)底部分布设有数个漏液小孔。

6.根据权利要求1所述的低倍组织热酸蚀装置，其特征在于，所述的样品框(4)通过其底部支架与保护板(9)接触相连，其底部分布设有数个漏液小孔。

7.根据权利要求1所述的低倍组织热酸蚀装置，其特征在于，所述的多层样品层板(10)包括2～5层，各样品层板包括层板和层板下的支架，所述的层板上分布设有数个漏液小孔。

8.根据权利要求7所述的低倍组织热酸蚀装置，其特征在于，所述的多层样品层板通过其层板下的支架相连依次叠加置于样品框上。

9.根据权利要求1所述的低倍组织热酸蚀装置，其特征在于，所述的温度传感器(5)外面包有聚四氟乙烯管。

10.根据权利要求1所述的低倍组织热酸蚀装置，其特征在于，所述的接地棒(6)与电热丝外包铁管(82)相连。