[实用新型]全自动晶圆测试平台装置

权利要求书

1、一种全自动晶圆测试平台装置，包括设置在底架(4)上的横向直线导轨(5)，其特征是：横向直线导轨(5)上设有与其滑动连接的底板(9)，在底架(4)上设有底板(9)的滑动驱动装置，在底板(9)上设有与横向直线导轨(5)垂直的纵向直线导轨(12)，纵向直线导轨(12)上滑动连接有支承板(14)及其滑动驱动装置，支承板(14)上设有晶圆吸附及卸落装置(2)，在晶圆吸附及卸落装置(2)的上方铰接有探针架(1)，在晶圆吸附及卸落装置(2)一侧的机架(4)上设有光学定位识别装置的安装槽(3)。

2、如权利要求1所述的全自动晶圆测试平台装置，其特征是：所述晶圆吸附及卸落装置(2)包括机架的纵向方向设置的管状内套(201)顶端设置的晶圆吸盘装置(229)，所述的内套(201)与升降装置与旋转装置相连，该晶圆吸盘装置(229)包括在负压吸盘(235)与隔热盘(236)之间设置的加热器(237)，在负压吸盘(235)上表面设有若干负压气槽(238)，在负压吸盘(235)内设有与负压气槽(238)连通的负压气孔(239)，在负压吸盘(235)上设有负压气管接头(240)，所述的负压气管接头(240)与负压气孔(239)连通，在负压吸盘(235)上设有贯穿负压吸盘(35)、加热器(237)与隔热盘(236)的卸料孔(241)，卸料孔(241)内设有顶针(30)以及顶针升降控制装置。

3、如权利要求2所述的全自动晶圆测试平台装置，其特征是：所述负压气槽(238)为负压吸盘(235)上表面开设的同心圆槽体，在负压吸盘(235)与加热器(237)之间设有热缓冲盘(242)。

4、如权利要求2所述的全自动晶圆测试平台装置，其特征是：内套(201)底端处外壁设有滚珠滑套(215)，滚珠滑套(215)外壁套有夹套(209)，所述的夹套(209)设于固定设置的外套(210)内并与外套(210)转动连接，纵向丝杠(217)顶在内套(201)底端与其驱动装置相连。

5、如权利要求4所述的全自动晶圆测试平台装置，其特征是：内套(201)上设有横向伸出的摇杆(221)，摇杆(221)的另一端与旋转装置相连。

6、如权利要求2所述的全自动晶圆测试平台装置，其特征是：在晶圆吸盘装置(229)下方设有联接盘(228)，联接盘(228)的下面固定设置有顶针上板(203)和顶针下板(207)，顶针上板(203)和顶针下板(207)之间滑动连接顶针中板(204)，在顶针中板(204)的上平面安装固定有顶针板(227)，顶针中板(204)通过顶针丝杠(205)，该顶针丝杠(205)与其驱动装置相连。

7、如权利要求6所述的全自动晶圆测试平台装置，其特征是：顶针上板(203)上设有顶针安装板(232)，在顶针安装板(232)上固定设有插入卸料孔(241)内的顶针(230)，在顶针安装板(232)与负压吸盘(235)之间的顶针(230)外套接有复位弹簧(231)。

8、如权利要求2所述的全自动晶圆测试平台装置，其特征是：在加热器(237)与隔热盘(236)之间设有盖板(245)，晶圆吸盘装置(229)在负压吸盘(235)的下表面设有向隔热盘(236)伸出的下凸环(243)，相应地在隔热盘(236)上表面设有向负压吸盘(235)伸出的上凸环(244)，下凸环(243)的下端面与上凸环(244)上端面接触并将热加热器(237)、缓冲盘(242)与盖板(245)包容其内。

9、如权利要求1所述的全自动晶圆测试平台装置，其特征是：在底架(4)的底端处设有减振垫(10)。