[实用新型]超净高纯电子级过氧化氢提纯设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种提纯超净高纯过氧化氢的设备。该设备生产的超净高纯过氧化氢适用于电子工业硅晶片的清洗。

背景技术

过氧化氢广泛应用于多个领域，具有漂白、氧化、消毒、杀菌等多种功效。超净高纯过氧化氢在大规模集成电路和光伏行业用做清洗剂，主要用于芯片和硅园片的清洗和蚀刻。过氧化氢的纯度和洁净度对电子产品的成品率、电性能及可靠性有着十分重要影响。目前过氧化氢采用蒽醌法制备，用该种方法获得的过氧化氢溶液含有诸多的无机离子或化合物杂质，因此过氧化氢溶液需经提纯处理，以除去杂质，达到要求的高纯度，尤其在电子工业，需要极高纯度的过氧化氢溶液。目前提纯过氧化氢主要采用树脂吸附法，该方法生产流程复杂，能源消耗大，产量低，设备占地面积大。应用冷却塔内的循环水进行冷却，受环境温度影响大，而过氧化氢的不稳定性随着温度的升高成几何倍地增长，因此难以保证其稳定性，容易促使其分解。传统的离子交换过氧化氢设备全为有机玻璃装置，靠手工控制操作，出现意外全靠人工处理，处理不当即玻璃四溅，造成人员伤亡和财产损失，既不安全又不环保。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种节能环保，生产高稳定性、高纯度、高产量过氧化氢提纯设备。

本发明是通过以下技术方案来实现的：超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，包括原料槽、中间罐、吸附柱、交换柱、成品槽、废液槽以及泵、阀和连接管，其中原料槽出口与泵连接，泵与吸附柱进口连接，吸附柱的出口与中间罐入口连接，中间罐的出口与冷凝器入口连接，冷凝器的出口与吸附柱入口连接，吸附柱出口与成品槽入口连接，废液槽的入口与吸附柱以及交换柱的出口连接，其特征在于还包括纯水槽和冷泵，其中纯水槽的出口与吸附柱以及交换柱的入口连接，冷泵与冷凝器连接。

前述超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，其特征在于采用PVDF材质，除原料槽、成品槽以及中间罐外系统其他部分集中于不锈钢箱体中。

前述超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，其特征在于采用自动化控制系统，该自动化控制系统采用自动报警系统。

本实用新型的有益效果是：本实用新型能有效除去过氧化氢中的有机离子和杂质颗粒，提供可用于电子工业的超净高纯过氧化氢。因采用冷却泵代替传统的循环水制冷技术，能严格控制冷却温度，既提高生产的安全性，又减少循环水的用量，节省水资料，达到节能环保。全程电脑控制，采用自动化控制设备操作系统，保证过氧化氢的高稳定性。自动控制系统采用自动报警系统，有效避免事故的发生，采用新型的PVDF材质，提高了生产的安全性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图，详细说明本实用新型的具体实施方式：

超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，包括：原料槽1、吸附柱2、中间罐3、交换柱4、成品槽5、废液槽6、纯水槽7、冷泵8以及泵、阀和连接管，原料槽1出口与泵连接，泵与吸附柱2进口连接，吸附柱的出口与中间罐3入口连接，中间罐的出口与冷凝器9入口连接，冷凝器的出口与吸附柱2入口连接，吸附柱出口与成品槽5入口连接，废液槽6的入口与吸附柱2以及交换柱4的出口连接，其中纯水槽7的出口与吸附柱以及交换柱的入口连接，冷泵8与冷凝器9连接。原料槽1用来盛放工业级过氧化氢，吸附柱2用于除去有机碳杂质，经过离子交换柱4的过氧化氢进入成品槽中，装置运行时冷凝器管程中进的是过氧化氢，而壳程中进的是自来水，与冷凝器相连的冷泵将自来水温降至10℃，使流经冷凝器中的过氧化氢在经过离子交换柱之前先将温度降至35℃以下，大大增加了过氧化氢的稳定性，不合格产品将自动进入废液槽。本实用新型采用PVDF(聚偏氟乙烯)材质，除具有良好的耐化学腐蚀性、耐高温性、耐氧化性、耐候性、耐射线辐射性能外，还具有压电性、介电性、热电性等特殊性能，采用该材质制造的离子交换柱及相关管路，可以避免成品的二次污染。PVDF树脂交换柱承受的压力最大可以达到1MPa。