[实用新型]超净高纯电子级过氧化氢提纯设备

权利要求书

1、超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，包括：原料槽、中间罐、吸附柱、交换柱、成品槽、废液槽以及泵、阀和连接管，其中原料槽出口与泵连接，泵与吸附柱进口连接，吸附柱的出口与中间罐入口连接，中间罐的出口与冷凝器入口连接，冷凝器的出口与吸附柱入口连接，吸附柱出口与成品槽入口连接，废液槽的入口与吸附柱以及交换柱的出口连接，其特征在于还包括纯水槽和冷泵，其中纯水槽的出口与吸附柱以及交换柱的入口连接，冷泵与冷凝器连接。

2、根据权利要求1所述的超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，其特征在于采用PVDF材质，除原料槽、成品槽以及中间罐外系统其他部分集中于不锈钢箱体中。

3、根据权利要求1所述的超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，其特征在于采用自动化控制系统，该自动化控制系统采用自动报警系统。