[实用新型]一种真空镀膜的加热基片架

权利要求书

1.一种真空镀膜的加热基片架，其特征在于：包括蒸发源(2)、传动组件、支撑组件及步进电机磁力转轴(13)，步进电机磁力转轴(13)安装在支撑组件上，蒸发源(2)设置在传动组件上、并通过传动组件与步进电机磁力转轴(13)连动。

2.按权利要求1所述的真空镀膜的加热基片架，其特征在于：所述支撑组件由第一、二支撑盘(7、11)中间设置多个支撑杆(9)构成，步进电机磁力转轴(13)安装在第二支撑盘(11)上；在第二支撑盘(11)上还安装有直动拨叉(14)，其上设有伸缩机构(16)；伸缩机构(16)位于第一、二支撑盘(7、11)之间，一端连接直动拨叉(14)，另一端由第一支撑盘(7)穿出、并设有固定托(5)，在固定托(5)上均布有多个与蒸发源(2)相连接的固定杆(4)。

3.按权利要求2所述的真空镀膜的加热基片架，其特征在于：所述伸缩机构(16)为四连杆机构。

4.按权利要求1或2所述的真空镀膜的加热基片架，其特征在于：所述传动组件包括第一连接杆(8)、转动托(18)、转动杆(3)及第一、二齿轮(6、17)，第一连接杆(8)的一端与步进电机磁力转轴(13)相连，另一端由支撑组件穿出、并连接第一齿轮(6)，第二齿轮(17)与第一齿轮(6)啮合传动；转动托(18)安装在第二齿轮(17)上，在转动托(18)上均布有多个与蒸发源(2)相连接的转动杆(3)。

5.按权利要求1或2所述的真空镀膜的加热基片架，其特征在于：所述蒸发源(2)包括炉盘(20)、炉盘架(21)、基片托(22)、加热罩(24)、隔热片(25)及筒式隔热片(23)，加热罩(24)的底部与转动杆(3)相连接，基片托(22)固接在加热罩(24)的顶部，与加热罩(24)一起随转动杆(3)旋转；炉盘架(21)位于加热罩(24)的内部、与固定杆(5)相连接，外罩有筒式隔热片(23)的炉盘(20)安装在炉盘架(21)的顶部，在炉盘(20)与炉盘架(21)之间设有隔热片(25)。

6.按权利要求5所述的真空镀膜的加热基片架，其特征在于：所述基片托(22)上开有第一凹槽(19)。

7.按权利要求5所述的真空镀膜的加热基片架，其特征在于：所述炉盘(20)上电阻丝的两侧均布有多个第二凹槽(28)；在炉盘(20)的中心开有热偶引入口(30)，电阻丝引入、引出口(29、31)分别位于热偶引入口(30)的两侧。

8.按权利要求1或2所述的真空镀膜的加热基片架，其特征在于：所述支撑组件上安装有磁力转轴(15)，其通过第二连接杆(10)与基片挡板(1)相连接，基片挡板(1)通过磁力转轴(15)可绕第二连接杆(10)旋转。

9.按权利要求1或2所述的真空镀膜的加热基片架，其特征在于：在支撑组件上还安装有四芯引线组件(12)，其上设有四个电极，其中两个连接加热电源及蒸发源(2)上的电阻丝，另外两个连接温度传感器及温度显示仪。