[实用新型]光罩导引装置

说明书

技术领域

本实用新型关于一种导引装置，其特别关于一种光罩导引装置。

背景技术

一般用于光罩与工件对位的定位装置，是搭配真空设备以及自动控制设备来操作，但由于结构设计复杂之故，导致生产制造不易，制造成本亦高，倘若机台制造加工的过程不够精准确实，将使得光罩与工件的对位动作不够精确，使得对位效果无法符合预期的要求，造成成品不良率提升的缺点。

一般为了防止光罩于运送过程中因晃动或其它因素产生位移，都会使用光罩盒来输送光罩，以避免光罩在输送过程中受损，按，于2006年01月21日公告的中国台湾新型专利的I247974专利证号，名称为：「光罩定位装置」，揭露一种定位装置，尤指使用于光罩盒内的光罩定位装置，该光罩盒设置有座体，并于座体表面二侧设置有固定装置，而各固定装置为凸设有可供光罩置放的抵持件，且抵持件的一侧设置有复数限位片，而座体上方为覆盖有盖体，且盖体内为具有可容置光罩的容置空间，而容置空间的底面二侧分别设置有定位装置，且容置空间的一侧设置有抵持装置，俾使光罩可依定位装置及抵持装置而定位于容置空间内。

该发明为一用于光罩盒内的定位装置，以避免光罩在运送过程晃动碰撞而受损，然在制程中必须将光罩与工件予以精准地对位，因为在精密制程中，些微的误差将会导致整个工件无法使用，造成供料浪费及良率降低，因此在工件与光罩的对位上，需要辅助导引的装置，以避免误差产生。

因此，有鉴于光罩与工件在制程中对位及定位的导引需求，本新型的实用新型人特用心研发出一种机构设计简单、加工制造容易的光罩导引装置，以提升光罩与工件对位与定位的准确性。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种光罩导引装置，适用在薄型玻璃电路板至少一层导电图案的溅镀制程前，将光罩与工件予以对位及定位。

本实用新型的技术方案为：该光罩导引装置包括：一光罩、一承载板、至少一取像模块以及至少二定位模块，其中该光罩用以溅镀导电图案于一工件上，该光罩与工件分别设有复数个对位标记；承载板用以承载该光罩与工件，设有至少二定位挡块，并在该承载板二侧边各设有至少一凹陷处；该取像模块用以进行该光罩与工件的对位，设置于该承载板的上方对应于该光罩与工件对位标记的位置；以及该定位模块用以进行该光罩与工件的定位，分别设置于该承载板二侧的凹陷处。

其中，该光罩的材质为一不锈钢金属板。

其中，该定位挡块为L形块体，设置于该承载板上边近角落的处，该定位挡块之间相对的距离符合该光罩的尺寸规格。

其中，该取像模块包含：一摄影机、一辅助光源以及一屏幕，该摄影机电气连结于该屏幕，藉以将撷取的影像传输至该屏幕上显现出来，该辅助光源则设置于该摄影机镜头下方，提供辅助光线以提升取像品质。

其中，该定位模块包含：一压板、一压块以及一气压缸。

其中，该摄影机为电荷耦合组件(Charge-Coupled Device，CCD)摄影机。

其中，该压块以复数个轴体及弹性组件连结设置于该压板下方，以固定该光罩与工件。

其中，该气压缸以活塞杆与该压板连结，以顶升、拉降该压板与压块。

本实用新型的有益效果为：本实用新型光罩与工件上所设置微小的对位标记，经由取像模块撷取对位影像，并将影像放大、输出，以提供一个光罩与工件对位校准的机制，接着，透过定位模块将光罩与工件暂时定位后，作业人员可在工件上放置一软磁藉以将工件固定于光罩与软磁之间，之后，放松该定位模块，即可将光罩、工件及软磁所组成的工件组取出，进入导电图案溅镀的制程；藉此，本实用新型在工件进入导电图案溅镀制程之前，提供了一个机构设计简单、加工制造容易的光罩导引装置，用于光罩与工件的对位及定位，以提升制程良率并降低供料浪费的情形。

附图说明

图1说明本实用新型光罩导引装置的立体示意图；

图2说明本实用新型光罩导引装置的光罩与工件立体分解图；

图3说明本实用新型光罩导引装置的前视图；

图4说明本实用新型光罩导引装置的定位模块前视图；

图5说明本实用新型光罩导引装置的定位模块侧视图；以及

图6说明本实用新型光罩导引装置的使用状态示意图。

【图号说明】

1光罩导引装置    11光罩

111对位标记      12承载板

121定位挡块      13取像模块

131摄影机        132辅助光源