[实用新型]光罩导引装置

权利要求书

1.一种光罩导引装置，其特征在于，包括：

一用以溅镀导电图案于一工件上的光罩，该光罩与工件分别设有复数个对位标记；

一用以承载该光罩与工件的承载板，设有至少二定位挡块，并在该承载板二侧边各设有至少一凹陷处；

至少一用以进行该光罩与工件对位的取像模块，设置于该承载板的上方对应于该光罩与工件对位标记的位置；以及

至少二用以进行该光罩与工件定位的定位模块，分别设置于该承载板二侧的凹陷处。

2.如权利要求1所述的光罩导引装置，其特征在于，该光罩的材质为一不锈钢金属板。

3.如权利要求1所述的光罩导引装置，其特征在于，该定位挡块为L形块体，设置于该承载板上边近角落的处，该定位挡块之间相对的距离符合该光罩的尺寸规格。

4.如权利要求1所述的光罩导引装置，其特征在于，该取像模块包含：一摄影机、一辅助光源以及一屏幕，该摄影机电气连结于该屏幕，藉以将撷取的影像传输至该屏幕上显现出来，该辅助光源设置于该摄影机镜头下方，提供辅助光线以提升取像品质。

5.如权利要求1所述的光罩导引装置，其特征在于，该定位模块包含：一压板、一压块以及一气压缸。

6.如权利要求4所述的光罩导引装置，其特征在于，该摄影机为一电荷耦合组件摄影机。

7.如权利要求5所述的光罩导引装置，其特征在于，该压块以复数个轴体及弹性组件连结设置于该压板下方，以固定该光罩与工件。

8.如权利要求5所述的光罩导引装置，其特征在于，该气压缸以活塞杆与该压板连结，以顶升、拉降该压板与压块。