[发明专利]镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜设备，用于对工件进行镀膜，所述镀膜设备包括具有开口的第一腔体和红外线加热单元，所述红外线加热单元设置在所述第一腔体中，所述红外线加热单元发出红外线对所述工件加热，其特征在于：进一步包括一个设置在所述开口处的挡板，所述挡板将所述红外线加热单元密封在所述第一腔体中，所述红外线通过所述挡板后对所述工件进行加热。

2.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述挡板的材料为铝酸盐玻璃。

3.如权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于：所述铝酸盐玻璃包括钙铝酸盐玻璃、锶铝酸盐玻璃、钡铝酸盐玻璃、镁铝酸盐玻璃或铍铝酸盐玻璃。

4.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述挡板的材料为类金刚石碳。

5.如权利要求2至4任一项所述的镀膜设备，其特征在于：所述第一腔体的内壁上设置有反射单元，所述红外线加热单元发出的红外线被所述反射单元反射后通过所述挡板。

6.如权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于：进一步包括一个第二腔体，所述红外线通过所述挡板入射至所述第二腔体。

7.如权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于：所述第二腔体设置有抽真空单元和供气单元。

8.如权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于：所述第二腔体靠近所述第一腔体开口的一端设置有旋转单元，所述旋转单元用来旋转所述工件。

9.如权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于：所述第一腔体内设置有反射镜片组。