[发明专利]一种用于生物医学电化学检测的三维微电极及其制作方法

权利要求书

1.一种制作电化学三维微电极结构的方法，包括：

在衬底表面形成牺牲层；

在所述牺牲层上形成双金属层，使得所述双金属层产生内应力， 该内应力使得所述双金属层具有向背离所述衬底的方向翘起的趋势； 以及

去除所述牺牲层，使得所述双金属层从所述衬底翘起；

所述牺牲层仅仅覆盖衬底表面的一部分，而在衬底表面未被所述 牺牲层覆盖的区域，所述双金属层与所述衬底紧密结合；

其中在所述牺牲层上形成双金属层的步骤进一步包括：在牺牲层 上溅射第一种金属；和在第一种金属上溅射第二种金属；所述第二种 金属的热膨胀系数大于第一种金属。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述第一种金属是应力控制金 属，第二种金属是工作电极。

3.如权利要求1所述的方法，进一步包括在形成所述牺牲层之后， 通过光刻将该牺牲层图案化。

4.一种用于电化学检测的微电极，包括衬底和在所述衬底上形成 的双金属层，其中所述双金属层的一部分联结在所述衬底上，另一部 分从所述衬底上翘起；所述双金属层包括结合在一起的第一子金属层 和第二子金属层；所述第二子金属层的热膨胀系数大于第一子金属 层。