[发明专利]一种硅片优化调度的方法和装置

权利要求书

1.一种硅片优化调度的方法，其特征在于，包括：

步骤a、获取宏观传输序列；

步骤b、将所述宏观传输序列变换为多个子任务序列；

步骤c、在任务运行时，分别从各个子任务序列中选取至少一个子任务；

步骤d、依据预置规则，在能够顺畅执行的前提下，选取其中优先级最 高的一个子任务加以执行；所述预置规则包括：

A、耗时时间最长的子任务的优先级最高；

B、当港口端中可用的单个硅片的存放点数目大于工艺端可用的工艺腔 室数目时，优先级顺序如下：工艺处理子任务＞向工艺端放硅片子任务＞ 从工艺端取硅片子任务＞从港口端取硅片子任务＞向港口端放硅片子任 务；

当港口端中可用的单个硅片的存放点数目小于等于工艺端可用的工艺 腔室数目时，优先级顺序如下：工艺处理子任务＞从港口端取硅片子任务＞ 向港口端放硅片子任务＞向工艺端放硅片子任务＞从工艺端取硅片子任 务；

步骤e、重复上述步骤c和步骤d，完成对硅片的传输和处理。

2.根据权利要求1所述的硅片优化调度的方法，其特征在于，

将整个宏观传输序列变换为多个子任务序列；

或者，将所述宏观传输序列中一定步数范围内的序列集合变换为多个子 任务序列。

3.根据权利要求1所述的硅片优化调度的方法，其特征在于，所述多 个子任务序列包括以下5个子任务序列：

工艺处理子任务序列，从港口端取硅片子任务序列，从工艺端取硅片子 任务序列，向港口端放硅片子任务序列，向工艺端放硅片子任务序列；

其中，所述港口端包括加工设备的装载模块和定位器模块。

4.一种硅片优化调度的方法，其特征在于，包括：

步骤a、获取宏观传输序列；

步骤b、将所述宏观传输序列变换为多个子任务序列；

步骤c、在任务运行时，分别从各个子任务序列中选取至少一个子任务；

步骤d、依据预置规则，在能够顺畅执行的前提下，依据各个子任务的 优先级顺序创建子任务调度队列；所述预置规则包括：

A、耗时时间最长的子任务的优先级最高；

B、当港口端中可用的单个硅片的存放点数目大于工艺端可用的工艺腔 室数目时，优先级顺序如下：工艺处理子任务＞向工艺端放硅片子任务＞ 从工艺端取硅片子任务＞从港口端取硅片子任务＞向港口端放硅片子任 务；

当港口端中可用的单个硅片的存放点数目小于等于工艺端可用的工艺 腔室数目时，优先级顺序如下：工艺处理子任务＞从港口端取硅片子任务＞ 向港口端放硅片子任务＞向工艺端放硅片子任务＞从工艺端取硅片子任 务；步骤e、依据子任务调度队列，执行各子任务。

5.根据权利要求4所述的硅片优化调度的方法，其特征在于，

将整个宏观传输序列变换为多个子任务序列；

或者，将所述宏观传输序列中一定步数范围内的序列集合变换为多个子 任务序列。

6.根据权利要求4所述的硅片优化调度的方法，其特征在于，所述多 个子任务序列包括以下5个子任务序列：

工艺处理子任务序列，从港口端取硅片子任务序列，从工艺端取硅片子 任务序列，向港口端放硅片子任务序列，向工艺端放硅片子任务序列；

其中，所述港口端包括加工设备的装载模块和定位器模块。