[发明专利]一种镍酸镧陶瓷靶的制备方法

权利要求书

1.一种镍酸镧陶瓷靶的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

镍酸镧（LNO）粉末制备

称取硝酸镧、硝酸镍，使摩尔比为1：1，加入柠檬酸，柠檬酸与La³⁺ 或者Ni²⁺的摩尔比为6：1~5：1，混溶于去离子水中，搅拌并在80~100℃保持2~4小时，得到溶胶，然后将溶胶置于130~150℃中干燥10~12小时，得到干凝胶；

将干凝胶进行焙烧，焙烧温度由室温逐步升至750~800℃，升温的过程为：室温→200~250℃保持1.5~2小时→400~450℃保持3~4小时→750~800℃保持2~4小时，然后自然降温至室温，碾磨得到LNO粉末；

靶片压制

将步骤中的LNO粉末冷压成型，制成LNO陶瓷靶，压力为120~150 兆帕；

烧结成靶

将制得的LNO陶瓷靶进行预烧脱胶，预烧温度由室温逐步升至650~800℃，然后自然降温至室温；

 将脱胶的LNO陶瓷靶进行烧结，烧结方式为：将LNO陶瓷靶在常压、常气氛中750~800℃烧结24~48小时，然后在常压、常气氛中950~1100℃烧结1~2小时。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤中第二次烧结过程中采用氧气气氛替代常压、常气氛。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述的氧气的压力为0.1~1.0MPa。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：所述的氧气的纯度大于99.0%。

5.根据权利要求1或3或4所述的方法，其特征在于：步骤中所述预烧的逐步升温过程为：室温→150~200℃保持0.5~1小时→250~300℃保持1~2小时→350~400℃保持1~2小时→500~600℃保持0.5~1小时→650~800℃保持10~20分钟。