[发明专利]晶片检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体晶片加工过程中对晶片扫描记录的技术，具体的说是一种晶片检测装置，对被加工晶片片盒内晶片数量及其位置的记录。

背景技术

众所周知，在全自动半导体设备中，需要对成放晶片的片盒进行扫描，以确定在该盒内的晶片数量及其存放位置。这样，负责晶片传送的机械手才能准确将其产送到各个模块对晶片进行加工。

原来的晶片扫描方式为：在片盒的前方和后方分别装有一个发光装置和一个受光装置，片盒装载在一个可升降的装置上。这样，通过电机旋转带动片盒升降机构由上至下运动。当片盒有晶片的情况下，将遮挡放光装置发出的可见光。若没有，则不遮挡。通过以上方式，可知片盒内是否有晶片及晶片数量。

但是，这种对晶片的扫描是在机械手取片以前进行的，机械手必须等到整个片盒全部扫描完成以后才可以取片。这样做会影响整个设备的产能，因为每次更换一盒新的晶片，系统便会对片盒扫描一次。

发明内容

为了解决这个问题，本发明的目的在于提供一种新的晶片检测装置，解决现有技术中存在的对片盒扫描时间长，影响设备产能等问题。

本发明的技术方案是：

一种晶片检测装置，该装置设有承片台、接近开关、压力开关、支架、码盘装置、丝杠传动装置，承片台为承片台I、承片台II相对设置于底座上，底座的底部设有丝杠传动装置，丝杠传动装置为配套使用的丝杠与螺母构成，底座与丝杠传动装置的螺母连接，丝杠顶部的丝杠座上装有接近开关，接近开关位于承片台I与承片台II之间。

所述的晶片检测装置，在丝杠传动装置一侧设置码盘装置，码盘装置上相对设置有限位板、直码盘，丝杠传动装置位于限位板和直码盘之间，直码盘开有槽，丝杠传动装置的螺母上安装与直码盘对应的光电开关。

所述的晶片检测装置，直码盘上开有和片盒内数量相等的槽，这些槽之间的槽间距与标准片盒的槽间距相同。

所述的晶片检测装置，丝杠传动装置安装于支架的底板上，支架底部装有缓冲垫。

所述的晶片检测装置，片盒安装于承片台I和承片台II之上，在承片台II上装有压力开关。

所述的晶片检测装置，电机通过传动轴与丝杠传动装置的丝杠连接。

本发明的有益效果是：

1、采用本发明装置不是在机械手工作之前对晶片整盒扫描，而是在每次机械手取片以前检测该取片位置是否有晶片存在，若有则机械手就会取片。没有则机械手等待，系统会对机械手的下一个取片位置进行检测已确定机械手是否取片。这样，可以减少系统对片盒进行扫描的时间，提高设备产能。

2、本发明所提供的晶片扫描检测装置中，片盒的升降是靠电机连接滚珠丝杠旋转带动的，这种方式可以实现片盒的平稳升降。

3、本发明片盒在下降过程中每走一步后，机械手都要对其位置上是否有晶片进行检测，这样就必须保证片盒每次的行程都等于片盒的槽距。为了满足这一要求，在该装置中装有一个和片盒槽数相等、槽距相同的直码盘，通过对传感器(光电开关)是否被直码盘遮挡，来控制片盒的运动。

4、本发明检测槽内是否有晶片是通过接近开关来实现的，在片盒下部装有一个接近开关，当片盒槽内有晶片时，接近开关就会发出检测信号，通过接近开关对每一个位置进行检测。

5、本发明的实现方式为边检测便进行晶片处理，无需对整个片盒进行扫描。

6、本发明晶片检测装置结构，在装置四角装有缓冲垫，可减少震动，保证片盒平稳运行。

附图说明

图1-图3是本发明的结构示意简图。其中，图1为晶片检测机构外形图；图2为图1中的码盘装置；图3为丝杠传动装置。

图中，1-承片台I；2-接近开关；3-压力开关；4-承片台II；5-支架；6-码盘装置；7-丝杠传动装置；8-电机；9-缓冲垫；10-限位板；11-直码盘；12-螺母；13-丝杠；14-底座；15-丝杠座；16底板。

具体实施方式