[发明专利]晶片检测装置有效

专利信息
申请号: 200810228479.9 申请日: 2008-10-31
公开(公告)号: CN101728292A 公开(公告)日: 2010-06-09
发明(设计)人: 侯宪华 申请(专利权)人: 沈阳芯源微电子设备有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 张志伟
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 晶片 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种晶片检测装置,其特征在于:该装置设有承片台、接近开关、压力开关、支架、码盘装置、丝杠传动装置,承片台为承片台I、承片台II相对设置于底座上,底座的底部设有丝杠传动装置,丝杠传动装置为配套使用的丝杠与螺母构成,底座与丝杠传动装置的螺母连接,丝杠顶部的丝杠座上装有接近开关,接近开关位于承片台I与承片台II之间;在该装置中装有一个和片盒槽数相等、槽距相同的直码盘,通过对传感器是否被直码盘遮挡,来控制片盒的运动。

2.按照权利要求1所述的晶片检测装置,其特征在于:在丝杠传动装置一侧设置码盘装置,码盘装置上相对设置有限位板、直码盘,丝杠传动装置位于限位板和直码盘之间,直码盘开有槽,丝杠传动装置的螺母上安装与直码盘对应的光电开关。

3.按照权利要求2所述的晶片检测装置,其特征在于:直码盘上开有和片盒内数量相等的槽,这些槽之间的槽间距与标准片盒的槽间距相同。

4.按照权利要求1所述的晶片检测装置,其特征在于:丝杠传动装置安装于支架的底板上,支架底部装有缓冲垫。

5.按照权利要求1所述的晶片检测装置,其特征在于:片盒安装于承片台I和承片台II之上,在承片台II上装有压力开关。

6.按照权利要求1所述的晶片检测装置,其特征在于:电机通过传动轴与丝杠传动装置的丝杠连接。

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