[发明专利]多晶硅研磨方法无效
| 申请号： | 200810222733.4 | 申请日： | 2008-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN101683627A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 陈红雨;叶其辉;罗绮雯 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | B02C17/16 | 分类号： | B02C17/16;B02C17/20 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 510006广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 研磨 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种多晶硅研磨方法，其特征在于，所述方法包括：
A、将包装好的硅块用天然玛瑙破碎成硅颗粒，所述硅颗粒直径均小于 5mm；
B、将所述干燥后放入通入惰性气体的球磨机，所述球磨机大球半径 15-20mm，中球半径8-10mm，小球半径2-3mm，所述球磨机的大中小球体的个 数比为1∶2-3∶6-10；
C、将所述硅颗粒研磨3-4小时得到100-200目硅粉。
2、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤A中的天然玛瑙的 莫氏硬度大于或等于7。
3、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤C具体包括：
将所述硅颗粒研磨3-4小时然后得到100-200目硅粉，在研磨时每隔半小时 停止研磨5分钟。
4、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
D、将100-200目硅粉放入乙醇浸泡后干燥。
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