[发明专利]无极准分子灯

说明书

技术领域

本发明属电光学领域，涉及一种通过微波激励放电发光的准分子灯，具体涉及准分子灯的灯管及谐振腔系统。

背景技术

受激准分子灯目前广泛应用于半导体集成电路、液晶显示面板和印刷线路板等电子部件的制造工序中的紫外线曝光装置等中，但是现在进入实用状态的大都是高压电场激发光的准分子灯，例如专利公开号CN1494105A的(受激准分子灯)，专利公开号CN101164136A的(准分子灯)等，这些准分子灯都是采用灯内管内侧和外管外侧安装电极，通过电极间施加高电压，激发灯内的气体放电发光，他们共同的弱点，就是高压电激发准分子光的电效率低，所以难以做成大功率，一般只能是几十瓦，其次由于电极紧靠灯管，使这种同轴环筒状灯管在工作状态下容易产生裂纹，影响使用寿命。因为这些些问题，所以成本居高不下，只能在高附加值的产品上使用，而以该产品的性能，在其它领域也是大有用武这地，因此开发低成本、效率更高、寿命更长的大功率准分子灯就是自然而然的选择。

现在国内外也有不少院校及科研机构、企业在研究新型准分子发光系统，激励能源包括DC、AC、RF、微波等，国内的研究步伐是在微波准分子灯方向成果最大，如复旦大学专利申请号为200510027965.0的(190nm、207nm准分子微波无极放电灯及应用)；电子科技大学专利申请号为03117882.0的(一种微波紫外光源)；以及本人的专利申请号为200810065583.0的(连续式大功率微波无极紫外发生装置)等。

在本人的专利产品实际使用过程中，发现了一些新的问题，如灯管较长的情况下如何固定的问题，如何提高透光率的问题等。

发明内容

因此，本发明是为了解决实际使用中的的问题，本发明的目的在于提供一种低成本的、便于安装固定，透光效率高的微波激励的无极准分子灯。

本发明的无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于：谐振腔系统由波导底板、圆筒形网孔板、盖板构成，其中圆筒形网孔板采用可反射微波的铝或银、不锈钢等材料制造，网孔板开口率大于70％。

本发明的无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于：所说的无极灯管采用脱羟透明石英玻璃制造，二氧化硅纯度大于99.9％，灯管内外均无电极，灯管内封装有惰性气体及卤素气体等，灯管两端装有不吸收微波的接头。

本发明的无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于；谐振腔系统一端连接波导系统，另一端装有可反射微波的盖板，波导连接端及盖板内衬有固定无极灯管的不吸收微波的固定板，盖板及波导底板上用支架固定成整体。

本发明的无极准分子灯中所述的固定无极灯管的固定板，其特征在于：当用于光清洗时，固定灯管的孔位置是偏心的。

附图说明

图1为本发明的无极准分子灯的结构图。

图2为本发明的结构分解图。

图3为本发明的A向视图。

图4为本发明的偏心结构A向视图。

图5为本发明的B向放大图。

符号说明

11：盖板；12：固定板；13：卡箍；14：接头；15：无极灯管；16：固定杆；17：圆筒形网孔板；18：波导腔；19：耦合口。

具体实施案例

参照附图，其中图1为本发明的结构图，图2为本发明的结构分解图，本发明是通过如下方式进行实施的，微波源产生微波后，微波通过波导18的耦合口19进入谐振腔，激励准分子灯管15内的放电用气体受激发生准分子紫外光。

谐振腔系统是由盖板11、圆筒形网孔板17、波导腔18的底板共同构成，还包括辅助连接固定的卡箍13、固定杆16。

如图5所示，圆筒形网孔板17的采用蜂窝状结构的网状孔板，开口率大于70％，透光率高。

无极灯管系统则由无极灯管15(灯管内封有氪气、氩气、氙气、卤素气体等)、接头14构成，另外还包括辅助固定灯管的固定板12，无极灯管的材质采用脱羟透明石英玻璃，二氧化硅纯度大于99.9％，接头和固定板的材质可以是TEFLON、石英玻璃、陶瓷或其它不吸收微波的材料。