[发明专利]无极准分子灯

权利要求书

1.一种无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于：谐振腔系统由波导底板、圆筒形网孔板、盖板构成，其中圆筒形网孔板采用可反射微波的铝或银、不锈钢等材料制造，网孔板开口率大于70％。

2.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于：所说的无极灯管采用脱羟透明石英玻璃制造，二氧化硅纯度大于99.9％，灯管内外均无电极，灯管内封装有惰性气体及卤素气体等，灯管两端装有不吸收微波的接头。

3.根据权利要求1所述的谐振腔系统，其特征在于：谐振腔系统一端连接波导系统，另一端装有可反射微波的盖板，波导连接端及盖板内衬有固定无极灯管的不吸收微波的固定板，盖板及波导底板上用支架固定成整体。

4.根据权利要求3所述的固定板，其特征在于：当用于光清洗时，固定灯管的孔位置是偏心的。