[发明专利]具有内置二极管IGBT的半导体器件和具有内置二极管DMOS的半导体器件有效

专利信息
申请号: 200810212562.7 申请日: 2008-09-05
公开(公告)号: CN101414816A 公开(公告)日: 2009-04-22
发明(设计)人: 河野宪司 申请(专利权)人: 株式会社电装
主分类号: H03K17/567 分类号: H03K17/567;H01L27/06
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 陈松涛
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 具有 内置 二极管 igbt 半导体器件 dmos
【说明书】:

技术领域

本发明涉及一种具有内置二极管IGBT的半导体器件和一种具有内置二极管DMOS的半导体器件 

背景技术

在过去,已经提出了具有体二极管的IGBT,其具有二极管元件,并且在相同的半导体衬底上形成IGBT元件(例如,参考专利文献1,即,JP-A-351226,其对应于USPNo.5,559,656)。具有体二极管的IGBT将二极管元件的阳极和IGBT元件的发射极形成为彼此共用,并且将二极管元件的阴极和IGBT元件的集电极形成为彼此共用。具有体二极管的IGBT例如被结合到倒相电路中,并且用于根据脉宽调制(PWM)控制方法来控制负载。 

然而,当将常规的具有体二极管的IGBT结合到倒相电路中时,栅极信号通常是其相位在倒相电路的上下臂之间被颠倒的信号。因此,即使是在例如二极管元件续流时,也会将栅极信号输入到IGBT元件中。换而言之,二极管的动作(action)和IGBT元件的动作是同时发生的。顺便提及,IGBT元件的动作表示栅极信号被输入到IGBT元件中。 

如上所述,当二极管元件的动作和IGBT元件的动作同时发生时,由于电极被形成为共用,则如果IGBT元件中的沟道导通,则二极管元件的阳极和阴极变为同一电势。由此,包含二极管元件的体二极管由于IGBT元件的栅极电势而不能容易地正向动作。结果,二极管元件的正向电压Vf增大,并且二极管元件造成的正向损耗增大。 

作为通过设计一种器件结构来避免上述问题的方法,可以设想仅-二极管区域的形成,即,与IGBT的体二极管分离的不具有栅极的区域,如在(例如)“Proceedings of2004International Symposium on Power SemiconductorDevice&Amp;ICs”(pp261-264)中所述。然而,不作用为IGBT的区域,即 仅执行二极管动作的区域扩展。由此,如果在芯片尺寸保持不变的情况下形成仅-二极管区域,则IGBT的导通状态的电压增加。顺便提及,如果二极管的导通电压固定,则芯片尺寸增加。 

另一方面,对于dc-dc转换器,众所周知的是一种通过将具有体二极管的双扩散金属氧化物FET半导体(DMOS)作为开关器件结合到控制电路中来实施同步整流控制的方法。当电流流入包含在该具有体二极管的DMOS中的二极管元件中时,在二极管元件中产生正向电压,并且产生等同于该正向电压的dc损耗。因此,当实行这种同步整流控制时,通常采用以下方法:使用电流转换器来感测DMOS元件中的电流,以便将回流DMOS元件的栅极信号变为导通状态的电压电平(例如,参考JP-A-2004-180386)。 

然而,需要电流转换器作为电流感测器件。这样就造成了电路规模变得较大的问题。作为解决该问题的一种方法,可以想到一种检测开关器件端子间电压的方法(例如,参考JP-A-2004-208407)。然而,根据该方法,需要其输入端子能够耐受高电源电压的控制IC。由于在产生高压时对抗噪性有着严格要求,因此就需要添加保护器件或任何其他高抵抗性的设计。这样就造成了控制IC成本增加的问题。 

因此,需要通过避免二极管元件的动作与IGBT的动作之间的干扰,来防止在包含IGBT(其具有体二极管)的半导体器件中所包括的二极管所造成的正向损耗的增加。此外,对于在包含DMOS(其具有体二极管)的半导体器件中所包括的二极管元件,需要通过使二极管元件的动作与DMOS元件的动作同步,来避免增加二极管元件的正向电压的损耗。 

例如,如JP-A-2004-88001中所述,可以想到一种方法,该方法使用了结构与绝缘栅双极晶体管(IGBT)元件相同的电流检测元件,用于检测是否有电流流入续流二极管(FWD)元件,将检测结果反馈到栅极驱动电路,并且当FWD元件运行时,将IGBT元件的栅极驱动信号设置为截止状态的电压电平。然而,由于具有这种结构的电流检测元件受到栅极电势的影响,因此电流不能容易地流入电流检测元件中。因此,在电流检测元件处不能形成检测电压。换而言之,不能精确地执行反馈,并且不能高效抑制整流二极管元件所造成的正向损耗的增加。 

因此,需要提供一种半导体器件,其能够在不考虑将FWD元件合并到 IGBT元件中的结构的情况下,抑制由FWD元件造成的正向损耗的增加。 

发明内容

考虑到以上问题,本公开的一个目的是提供一种具有内置二极管IGBT的半导体器件。本公开的另一目的是提供一种具有内置二极管DMOS的半导体器件。 

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