[发明专利]一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护装置无效
| 申请号: | 200810202819.0 | 申请日: | 2008-11-17 |
| 公开(公告)号: | CN101423219A | 公开(公告)日: | 2009-05-06 |
| 发明(设计)人: | 史珺;宗卫峰 | 申请(专利权)人: | 上海普罗新能源有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037;C30B29/06;C30B28/00;F27B17/00 |
| 代理公司: | 北京必浩得专利代理事务所 | 代理人: | 李梦福 |
| 地址: | 201300上海市南*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 提纯 铸锭 泄漏 防护 装置 | ||
技术领域
本发明属于多晶硅提纯或铸锭领域,特别涉及一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护装置。
背景技术
在真空熔炼提纯太阳能多晶硅或进行多晶硅铸锭时,由于各种原因,承载硅料的坩埚难免会发生破裂,而导致硅液泄漏,硅液一旦泄漏,会损坏支撑坩埚的机构(通常是石墨)和炉体,严重的,会导致炉底被熔穿,而使炉壁的冷却水与高温硅液发生接触,而导致爆炸,甚至人身伤亡。
硅液泄漏由多种原因引起,如坩埚本身有隐形缺陷,硅液与坩埚或其表面涂层发生化学反应导致坩埚侵蚀,硅液凝固时膨胀导致坩埚涨裂,等等。尽管采取种种措置,在多晶硅铸锭和提纯的时候,硅液泄漏依然难以避免。
发明内容
本发明主要目的是为了解决上述问题,提供一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护装置,在硅液万一发生泄漏的时候,该装置能保护炉体和炉内的设备,防止设备损坏和爆炸的发生,保护炉前操作工人的人身安全。
为了达到上述目的,本发明提供的技术方案是:一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护装置,包括坩埚、平台、石墨支架和不锈钢平台;石墨支架设于不锈钢平台上面;平台设于石墨支架上面;坩埚设于平台上面,还包括倒角和凝固槽,平台上表面开有至少1个径向导流槽和至少1个纬向导流槽;倒角设在平台底部的周边;凝固槽设于平台的下面并环绕平台一周;凝固槽的内周设于倒角的里面,外周延伸到平台的外面。
平台的厚度至少为50mm。
径向导流槽从平台的中心延径向向外发散;纬向导流槽围绕平台的中心,与平台的周边形状相似;径向导流槽和所述的纬向导流槽相交成网状。
径向导流槽和纬向导流槽的深度和宽度为5mm~40mm;径向导流槽从中心向外越来越深;纬向导流槽的深度跟与其相交的径向导流槽的深度相同。
在最外圈的纬向导流槽开至少一个导流口。
导流口的下部装有硅液传感器,该硅液传感器为线形传感器。
凝固槽的厚度以能承载坩埚内全部硅液的重量为限;凝固槽的容量以能装下坩埚内全部的硅液为限。
凝固槽由高温耐火材料组成,该高温耐火材料为高铝、碳纤或上述材料的组合。
平台由高温耐火材料组成,该耐火材料为石墨、石英、钨钼合金或上述材料的组合。
本发明的积极效果如下:由于平台上设有导流槽,平台下面设有倒角和凝固槽,无论坩埚从任何方位泄漏,泄漏的硅液全部可以通过平台上的导流槽而流入凝固槽内,所以彻底避免了各种危险情况的发生。
附图说明
图1:本发明的结构示意图;
图2:本发明的平台俯视图。
具体实施方式
如图1所示,一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护装置,包括坩埚1、平台2、石墨支架8和不锈钢平台9,石墨支架8设于不锈钢平台9上面;平台2设于石墨支架8上面;坩埚1设于平台2上面,平台的厚度至少为50mm,还包括倒角6和凝固槽7,在平台2上表面开有至少1个径向导流槽3和至少1个纬向导流槽4,径向导流槽3从平台2的中心延径向向外发散;纬向导流槽4围绕平台2的中心,与平台2的周边形状相似;径向导流槽3和纬向导流槽4相交成网状;径向导流槽3和纬向导流槽4的深度和宽度为5mm~40mm,径向导流槽3从中心向外越来越深,纬向导流槽4的深度跟与其相交的径向导流槽3的深度相同;在最外圈的纬向导流槽4开至少一个导流口5,从坩埚1流到平台2上的硅液由导流口5流走,在导流口5的下部安装硅液传感器10,该硅液传感器10为线形传感器,在硅液流下遇到该硅液传感器10时,即给出一个开关信号,在硅液不泄漏时,该传感器10给出一个反向的开关信号。
在平台2底部的周边设有倒角6,以防止硅液流向平台2底面,在平台2的下面安装有一凝固槽7,凝固槽7环绕平台2一周,且内周设于倒角6的里面,外周延伸到平台2的外面,无论硅液从任何方位流出,均能直接流入凝固槽7内,从倒角6滴下的硅液也能落入凝固槽7内;凝固槽7的厚度以能承载坩埚1内全部硅液的重量为限,凝固槽7的容量以能装下坩埚1内全部的硅液为限;凝固槽7由高温耐火材料组成,该高温耐火材料为高铝、碳纤或上述材料的组合,该材料与硅的反应速度较慢,可以进行钝化,使平台2表面越来越不易与硅发生反应;平台2由耐火材料组成,该耐火材料为石墨、石英、钨钼合金或上述材料的组合,该等材料应能够耐高温,而且不含高温易挥发的添加剂。
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