[发明专利]用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法，其特征在于该 方法依次按照下列步骤实现：

A、激光表面微造型：

对不锈钢、钛合金或碳化硅陶瓷工件进行抛光、除油以及清洗预处理，然后 采用Nd-YAG固体激光器，波长1064nm，脉宽4ns，调节激光总能量为3W、将 激光脉冲次数控制在1～5次、光斑直径为20μm、扫描速率2～6mm/s，在工件表面 形成微造型表面；

B、磁控溅射沉积织构化钛掺杂类金刚石薄膜：

将得到的微造型表面进行清洗及活化处理，采用磁控溅射沉积系统在样品表 面依次沉积钛过渡层和掺钛类金刚石复合薄膜；沉积过程中，真空室的放电气压 为0.8～1.2Pa，氩气气氛，阴极为高纯钛靶和石墨靶，钛靶的工作电流维持在 0.5～0.8A，石墨靶的工作电流维持在1.0～1.5A，基底所加偏压为-300～-600V， 沉积时间为100～200分钟，最后得到织构化类金刚石复合薄膜。