[发明专利]壳体及应用其的喷射式等离子体系统有效

专利信息
申请号: 200810186084.7 申请日: 2008-12-22
公开(公告)号: CN101754563A 公开(公告)日: 2010-06-23
发明(设计)人: 蔡陈德;许文通;吴清吉;陈志玮 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: H05H1/34 分类号: H05H1/34;H01J37/32
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 壳体 应用 喷射式 等离子体 系统
【权利要求书】:

1.一种壳体,用以可旋转地设置于一喷射式等离子体系统中,该壳 体绕着一中心轴转动,其特征在于该壳体包括:

一主体,具有一第一腔体;以及

一等离子体喷嘴,设置于该主体的下方,且具有一第二腔体及一直形 通道,该第二腔体连通于该第一腔体,该中心轴位于该第一腔体及第二腔 体内并通过该壳体,该直形通道位于相对于该主体的该等离子体喷嘴的一 侧,且连通于该第二腔体,该直形通道具有一延伸轴,该延伸轴平行于该 中心轴,且与该中心轴相隔一间距,该喷射式等离子体系统产生的等离子 体经由该直形通道喷出。

2.如权利要求1所述的壳体,其特征在于,该直形通道沿着平行于 该延伸轴的方向延伸。

3.如权利要求1所述的壳体,其特征在于,该等离子体喷嘴包括:

一内结构,具有该直形通道与一椭圆形尖端,该椭圆形尖端邻近于该 主体;以及

一外结构,该内结构置入该外结构内;

其中,该第二腔体形成于该内结构与该外结构之间。

4.一种喷射式等离子体系统,其特征在于包括:

一动力装置,用以提供一转动动力;

一壳体,用以接收该转动动力,以绕着一中心轴转动,该中心轴位于 第一腔体及第二腔体内并通过该壳体,该壳体具有一中空腔体及一直形通 道,该中空腔体是由该第一腔体和第二腔体构成,该直形通道连通于该中 空腔体,且具有一延伸轴,该延伸轴平行于该中心轴,且与该中心轴相隔 一间距;以及

一内电极组合,设置于该中空腔体内,用以产生一等离子体,该等离 子体经由该直形通道喷出。

5.如权利要求4所述的喷射式等离子体系统,其特征在于,该直形 通道沿着平行于该延伸轴的方向延伸。

6.如权利要求4所述的喷射式等离子体系统,其特征在于,该壳体 包括:

一主体,具有该中空腔体的第一腔体;以及

一等离子体喷嘴,设置于该主体的下方,且具有该中空腔体的第二腔 体及该直形通道,该直形通道位于相对于该主体的该等离子体喷嘴的一 侧,且连通于该第二腔体。

7.如权利要求6所述的喷射式等离子体系统,其特征在于,该等离 子体喷嘴包括:

一内结构,具有该直形通道与一椭圆形尖端,该椭圆形尖端邻近于该 主体;以及

一外结构,该内结构置入该外结构内;

其中,该中空腔体形成于该内结构与该外结构之间。

8.如权利要求4所述的喷射式等离子体系统,其特征在于包括:

一转动机构,设置于该内电极组合与该壳体之间,使得该壳体相对该 内电极组合转动。

9.如权利要求4所述的喷射式等离子体系统,其特征在于,该内电 极组合包括:

一内电极,其轴心与该中心轴重合;

一气体导引装置,固定于该内电极;以及

一介电材料,设置于该壳体与该气体导引装置之间。

10.如权利要求9所述的喷射式等离子体系统,其特征在于,该壳体 接地,该喷射式等离子体系统包括:

一电压源,用以提供一电压至该内电极。

11.如权利要求4所述的喷射式等离子体系统,其特征在于,该动力 装置包括:

一动力源,用以提供该转动动力;以及

一传动件,该转动动力经由该传动件输入该壳体。

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